Gebraucht NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #9212984 zu verkaufen

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676 Wafer Schleifen, Läppen und Polieren Ausrüstung ist ein sehr vielseitiges und technologisch fortschrittliches System für die Oberflächenvorbereitung in der Halbleiter- und Elektronikindustrie. Es ist eine in sich geschlossene Einheit zum Schleifen und Polieren von Wafern bis 12 Zoll Durchmesser mit einer Oberfläche von Rmax/Rz ≤ 8,0 µm auf einer Reihe von anwendungsspezifischen Wafern wie PAD, ARX und BOPP. Das Gerät ist zum Schleifen, Läppen und Polieren mit Geschwindigkeiten von bis zu 150 mm/s geeignet und wird aufgrund seiner Leistungsfähigkeit und Genauigkeit für den Einsatz auf 300mm-Wafern sehr empfohlen. IPEC 676 nutzt die neueste abrasive Technologie und bietet zahlreiche Funktionen und Fähigkeiten. Es verfügt über eine robuste Doppelspindel-Konstruktion, die das gleichzeitige Schleifen, Läppen und Polieren von zwei Wafern auf einmal ermöglicht. Eine hochsteife XY-Stufe sorgt für präzise und genaue Bewegungen des Wafers und eine empfindliche Z-Stufe ermöglicht eine feinere Oberflächenplanarisierung auf einer Reihe von Wafern. Der Schleif-/Läpp-/Poliertisch besteht aus einer BLC-40 Epoxidharzbasis, die gegen Verschmutzung und Verzerrung beständig ist, und es enthält auch eine patentierte gerade Kantenhalter-Maschine, die gleiche Schleif- und Polierdrücke über den gesamten Wafer gewährleistet. Die einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche ermöglicht es dem Bediener, die Maschine genau zu programmieren und die Leistung des Wafers zu überwachen. Neben dem Waferschleifen, Läppen und Polieren ist WESTECH 676 in der Lage, RIE-, DRIE- und Ätzprozesse zu realisieren. Es enthält eine vollständige Reihe von Sicherheitsfunktionen, wie einen eingebetteten akustischen Monitor, Antibindungssensoren und Staubmanagementsysteme, um die Sicherheit des Bedieners und des Wafers zu gewährleisten. Das Tool ist auch mit PC-Steuerungsfunktionen ausgestattet, die eine Vielzahl von Funktionen ermöglichen, einschließlich Überwachungsoperationen, Diagnosen und Dokumentation. SPEEDFAM 676 ist eine äußerst zuverlässige und effiziente Anlage, die sich ideal für eine Reihe von Waferoberflächenvorbereitungsanwendungen eignet.