Gebraucht NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #9276834 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9276834
CMP System, parts machine
With MP400 Polisher
Interconnecting cables
Throughput: >40 Wafers/hr
Fully automated cassette to cassette (C2C)
(4) Wafer planarizers
Endpoint detection
Dual pad conditioning
Electrical cabinet
Spray box assembly
Automated wafer handling robot
Wet cassette assembly
Dual cassette basin
System Control (SysCon)
Control station
Head assembly
Internal bearings
Polish dynamics
Polish pad
Endpoint detection system
Manual
Includes:
Main polishing unit
Chase control panel
GENMARK Gencobot 3L / 4 Robot with end-effector
(25) M-825 Wafer address sensors
Chemicals:
Hydrogen peroxide concentration: 7.4% to 50%
W2000 Semi-sperse: DI Water and proprietary metal oxide
Power supply: 120/208 VAC WYE, 3 Phase, 60 Hz, 60 A.
NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676 ist eine fortschrittliche Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung. Dieses System wurde entwickelt, um eine präzise Kontrolle über eine Vielzahl von Prozessen zu gewährleisten, die höchste Qualität Ergebnisse. Die Avantgard 676 ist mit einem hochmotorisierten Diamantschleifkopf ausgestattet, mit dem die Oberfläche von Halbleiterscheiben abgeschliffen wird. Dieser Kopf kann eine Korngröße von weniger als 0,4 Mikron erreichen. Das Avantgard 676 ist zudem mit einer Läppeinheit mit variabler Geschwindigkeit von bis zu 120 U/min ausgestattet, mit der der Wafer auf eine glatte, gleichmäßige Oberfläche poliert wird. Diese Läppmaschine hat einen Kopf, der eine Oberflächenrauhigkeit von weniger als 0,6 Nanometer erreichen kann. Das Avantgard 676 ist mit einem leistungsstarken, servogesteuerten Vierpunkt-Polierwerkzeug ausgestattet. Diese Anlage nutzt eine patentierte „Servo-Polier“ -Technologie, die dem Bediener eine große Kontrolle über den Polierprozess gibt. Die Avantgard 676 verfügt auch über ein fortschrittliches IPEC-Reinigungsmodell, das unter Druck stehende Stickstoffstrahlen verwendet, um mikroskopische Partikel zu entfernen, die nach dem Schleifen und Läppen auf der Oberfläche des Wafers verbleiben. Diese Technologie trägt dazu bei, dass die Waferoberflächen möglichst sauber und kontaminationsfrei sind. Darüber hinaus ist die Avantgard 676 benutzerfreundlich und hocheffizient gestaltet. Seine Bedienoberfläche verfügt über ein berührungsempfindliches Display, das einen einfachen Zugriff auf die Steuerung der Geräte bietet und über voreingestellte Programme für bestimmte Anwendungen verfügt. Es verfügt auch über ein integriertes Diagnosesystem, das Personal erkennen und auf Probleme warnen kann, während sie auftreten. Die Maschine ist zudem mit einer umfassenden Überwachungs- und Warneinheit ausgestattet, die Ausfallzeiten reduziert und einen reibungslosen Ablauf des Schleif-, Läpp- und Polierprozesses gewährleistet. Insgesamt ist IPEC Avantgaard 676 eine fortschrittliche Maschine, mit der Bediener Halbleiterwafer schnell und präzise schleifen, schlagen und polieren können. Dieses Werkzeug verfügt über einen leistungsstarken Diamantschleifkopf, Läppmittel und Poliermodell, das eine genaue Kontrolle über den Prozess gibt. Darüber hinaus verfügt es über benutzerfreundliche, einfach zu bedienende Schnittstellen und Überwachungssysteme, die Ausfallzeiten reduzieren und qualitativ hochwertige Ergebnisse gewährleisten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor