Gebraucht NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #9300859 zu verkaufen

ID: 9300859
CMP Polisher.
NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676 (AG-676) ist eine automatisierte Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung für die Präzisionsbearbeitung von Halbleiterwafern. Es ist ein Hi-Tech-Gerät, das Genauigkeit und Wiederholbarkeit auf Mikroniveau erreichen kann. Das AG-676 ist mit einer Vielzahl fortschrittlicher Funktionen ausgestattet, darunter ein leistungsstarker Roboterarm für die Handhabung von Werkstücken sowie ein Vision-basiertes System zur Rückkopplungssteuerung und automatisierten Fehlererkennung. Es ist ein servogesteuerter Schleifkopf mit einem Satz auswechselbarer Schleifscheibenbaugruppen vorgesehen, die jeweils für unterschiedliche Waferbearbeitungsanforderungen ausgelegt sind. Der Schleifkopf hat die Fähigkeit, die Schleifscheiben mit hoher Geschwindigkeit zu schwingen und die Drehwinkel genau einzustellen, was eine hohe Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit ermöglicht. Zusätzlich unterstützt der Kopf ein schnelles Wechseln der Schleifscheiben, um Prozessstörungen zu minimieren und ein schnelles Umschalten zwischen Sägebläse und Schleifstufen des Prozesses zu ermöglichen. Das AG-676 ist auch mit einem integrierten Vakuum-Mehrschlitz-Poliertisch ausgestattet, der einen schnellen und konsistenten Betrieb für eine Vielzahl von Formgrößen ermöglicht. Das Gerät ist auch in der Lage, den Betrieb entweder Haken und Schleife oder magnetisch montierte Polierkissen unterstützt. Darüber hinaus verfügt das AG-676 über einen Hochgeschwindigkeits-Roboterarm zum Transport des Wafers vom Schleifen zu den Polierköpfen. Der Roboterarm hat die Fähigkeit, mit hohen Geschwindigkeiten zu oszillieren und das Werkstück sicher und genau zu greifen, wodurch ein optimaler Mechanismus für den Transport ohne Partikelverschmutzung gewährleistet ist. Dies reduziert auch die Zykluszeit erheblich und verbessert den Durchsatz der Maschine. Das AG-676 verfügt außerdem über ein optionales Vision-Tool, das eine automatisierte Fehlererkennung und -prüfung des Wafers vor und während des Prozesses ermöglicht. Das Asset ist in der Lage, Bilder des Wafers mit hohen Geschwindigkeiten zu erfassen und die Bilder mit festgelegten Kriterien zu vergleichen und ein fehlersicheres Modell bereitzustellen, mit dem Fehler schnell und genau erkannt werden können. Das AG-676 bietet einen hervorragenden Wert und ist eine effektive und zuverlässige Lösung für die Verwaltung von Wafer-Schleif-, Läpp- und Polieraufgaben. Darüber hinaus verfügt das Gerät über die Fähigkeit, alle Arten von häufig verwendeten Halbleiterscheibenformen unterzubringen, was es zu einem hocheffizienten und effektiven Gerät macht, das Anwendern einen verbesserten Durchsatz und geringere Kosten bietet.
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