Gebraucht NTS NML-3020 #9364614 zu verkaufen
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NTS NML-3020 Wafer Grinding, Lapping & Polishing Equipment ist eines der modernsten Systeme zur Verfügung. Dieses System ist für das präzise Polieren von ebenen und gekrümmten Oberflächen auf Halbleiterscheiben ausgelegt. NML-3020 ist mit einer 120 mm Präzisions-Läppplatte zum Läppen von Wafer-Rückseitenflächen und einem Diamant-Scheibenrad zum Polieren von Rückseite, Kantenrundung und Kerbbereich des Wafers ausgestattet. Das NTS NML-3020 Gerät ist mit zwei vertikalen Spindeln (100mm) und einer horizontalen Spindel (50mm) ausgestattet, um mehrrichtendes Schleifen und Polieren zu ermöglichen. Die Schleifspindeln werden von einem bürstenlosen Servomotor für eine schnelle und präzise Positionierung angetrieben, und die beiden Schleifscheiben haben unterschiedliche Eigenschaften und Größe. Das Hauptlapprad (Diamond Disc Wheel) besteht aus einem abrasiven Diamantring mit einer breiten Palette von abrasiven Materialien wie Diamant, Aluminiumoxid, Siliziumoxid und polykristallinem Diamant (PCD). Die Schleifkraft wird durch einen Druckaufnehmer gesteuert, um die Auslenkung der Schleifscheiben selbsttätig einzustellen und einen Übertritt zu verhindern. Die Scheibenscheibe wird in der Maschine in die Hauptlappscheibe geladen und kann zum präzisen und wiederholbaren Schleifen und Läppen auf einen bestimmten Druck eingestellt werden. NML-3020 ist mit zwei Gaszerstäubern und einem Drehzahlwählkasten zum gleichmäßigen Polieren der Waferkanten und Kerbbereiche ausgestattet. Für die Überwachung des Polierprozesses steht ein Echtzeit-Videofeed zur Verfügung. Die Maschine ist mit einem Wafermap-Software-Programm ausgestattet, um alle Polierkoordinaten zu speichern und als Referenz für zukünftige Prozesse zu nehmen. NTS NML-3020 ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsvorrichtungen und Gegenmaßnahmen konzipiert, um die höchste Qualität des Waferschleifens, Läppens und Polierens zu gewährleisten. Das Werkzeug ist mit Vibrationssensoren, Temperatur- und Drucküberwachungsgeräten und einem Lecksuchgerät sowie einer Anlage zur Staubbehandlung ausgestattet. NML-3020 Modell eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen wie dielektrisches Ätzen, Barrierenätzen, Metallisieren, chemisch/mechanisches Polieren, Rückenschleifen und Polieren sowie Abdeckungsätzen. Die Ausrüstung wurde entwickelt, um optimale Ergebnisse für zuverlässiges Polieren und hohe Ausbeute zu liefern.
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