Gebraucht NTS S610T-AFCLOM #9248793 zu verkaufen
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NTS S610T-AFCLOM (eine Abkürzung für Automatic Flat Control Lapping and Polishing Machine) ist eine Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die zum Polieren von Substraten aus Silizium, Germanium und anderen Materialien zu extrem engen Toleranzen mit hoher Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit entwickelt wurde. Das System ist in der Lage, Wafer von 50 mm bis 300 mm Durchmesser und bis zu 3,5 mm Dicke vorzubereiten. S610T-AFCLOM verwendet eine fortschrittliche abrasive Technologie und Prozesssteuerung für genaueres, konsistentes und wiederholbares Polieren. Die Maschine ist mit einem 6-Achs-Roboter-Server konfiguriert, der eine genaue Positionierung des Wafers über der Beckenplatte gewährleistet. Der Roboter ermöglicht auch den unbeaufsichtigten Betrieb von bis zu 10 Wafern auf einmal in automatisierten Kassetten-zu-Kassetten-Prozessläufen. Der Roboterarm kann leicht neu positioniert werden, um eine Vielzahl von Befestigungsspezifikationen aufzunehmen. Der Wafer wird dann durch die Vorrichtung fest gehalten, während mit 6-Achsen-Bewegung der gewünschte Druck ausgeübt wird. Die Maschine ist mit zwei Rundenplatten ausgestattet, die sich mit hoher Geschwindigkeit drehen und eine Kombination aus Schleifkörnern und Schlämmen verwenden, um Material zu entfernen und eine gewünschte Polieroberfläche zu erreichen. Jede Rundenplatte enthält eine geschlossene Maschine, die wichtige Polierparameter wie Last, Geschwindigkeit und Druck überwacht. Diese Parameter können eingestellt werden, um eine präzise Kontrolle des Prozesses zu erreichen und sicherzustellen, dass die gewünschte Oberflächengüte für jeden Wafer erreicht wird. NTS S610T-AFCLOM ist auch auf Sauberkeit und Sicherheit ausgelegt. Die Kompressionsplatten beseitigen mögliche Verschmutzungen von äußeren Partikeln und das Rückkopplungswerkzeug hält die Maschine präzise und sicher am Laufen. Die Anlage ist in einem lärmarmen, vollständig geschweißten Sicherheitsschrank mit Sicherheitstüren, umlaufenden Sicherheitslichtgittern und Not-Aus-Tasten für zusätzlichen Schutz eingeschlossen. Abschließend ist S610T-AFCLOM ein fortschrittliches Schleif-, Läpp- und Poliermodell, das den anspruchsvollsten Anforderungen der Branche gerecht wird. Die Ausrüstung bietet hohe Präzision, Wiederholgenauigkeit und Flexibilität und ermöglicht die automatisierte Herstellung von hochwertigen Wafern mit hoher Toleranz. Das Rückkopplungssystem, die Sicherheitsmerkmale und die Sauberkeit sorgen dafür, dass es zuverlässig, sicher und ohne Kontamination läuft.
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