Gebraucht NTT-AT ATP3000-XO1 #9282249 zu verkaufen
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NTT-AT ATP3000-XO1 ist eine Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die eine hervorragende mechanische Planarisierung von Wafern für die Herstellung von Halbleiter- und MEMS-Bauelementen ermöglicht. Das System ist für 4- bis 6- oder 8-Zoll-Wafer ausgelegt und verwendet eine patentierte zweiachsige, linearmotorisch angetriebene Einheit, um die Genauigkeit und Wiederholbarkeit von Sub-Mikrometern zu gewährleisten. Ein integrierter CNC-Controller steuert die Maschine an und verfügt über eine voll ausgestattete Benutzeroberfläche, mit der Parameter wie Vorschub, Spindeldrehzahl und Druck programmiert werden können. Die automatischen Schleif- und Läppelemente des Werkzeugs passen sich automatisch an, um die beste Kombination aus Vorschubgeschwindigkeit, Geschwindigkeit und Druck zu wählen, um die Gleichmäßigkeit der Oberflächenqualität und Genauigkeit des endgültigen Wafers sicherzustellen. Die Anlage soll sowohl feste als auch servogesteuerte Schleif- und Läppplatten verwenden. Die festen Platten haben eine feste Konstruktion mit konsistenten physikalischen Eigenschaften, während die servogesteuerten Platten mit Hilfe einer Software eingestellt werden können, um das gewünschte Schleifmuster zu erzeugen. Die robusten Antriebs- und Steuerungssysteme des Modells sorgen in Verbindung mit den modernsten Motorsteuerungen für einen optimalen Schleif- und Polierprozess, der den Wafer nicht beschädigt. Neben der Hauptschleif- und Polierausrüstung verfügt ATP3000-XO1 auch über ein integriertes Wafer-Entgratungssystem. Diese Entgrateinheit verwendet spezielle Werkzeuge und Techniken, um unebene Oberflächen auf dem Wafer effektiv zu glätten, ohne Schäden oder Verschmutzungen zu verursachen. Die integrierte CNC-gesteuerte Entgratmaschine verfügt zudem über einen eingebauten Werkzeugwechsler, so dass verschiedene Entgratwerkzeugtypen für optimalen Wirkungsgrad schnell ausgetauscht werden können. NTT-AT ATP3000-XO1 wurde mit einer Volledelstahlkonstruktion gebaut und bietet eine ausgezeichnete Haltbarkeit in rauen Betriebsumgebungen. Das Design entspricht auch den EMV-Standards für den Betrieb in der Reinraumklasse 6. Darüber hinaus ist das Tool sowohl leise als auch energieeffizient und bietet niedrige Gesamtbetriebskosten, ohne die Leistung des Prozesses zu beeinträchtigen.
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