Gebraucht OKAMOTO ASM-100A #9257632 zu verkaufen
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OKAMOTO ASM-100A ist eine Präzisions-Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für die Verarbeitung und Polierung verschiedener Arten von Wafermaterialien wie Halbleiter, Verbundhalbleiter und fortschrittliche Materialsubstrate entwickelt wurde. Dieses System ist eine hocheffiziente und kostengünstige Einheit, um Wafer mit hoher Genauigkeit auf gleichmäßige Ebenheit zu bringen. Die Gesamtmaschine umfasst eine Haupteinheit und mehrere unabhängige Prozessstationen, die für verschiedene Operationen eingesetzt werden können, einschließlich Prozesssteuerung, Schleifen, Ausrichten, Läppen und Polieren. Es kann Materialgrößen von 3 bis 8 Zoll verarbeiten und ist in der Lage, einen Wafer mit einer Dicke von bis zu 100 Mikron zu polieren. ASM-100A Werkzeug ist mit einer Vielzahl von Funktionen für präzise Schleif- und Polieroperationen ausgelegt. Es ist mit einem Präzisions-Gleichstrom (DC) -Motor ausgestattet, der einen reibungslosen und gleichmäßigen Betrieb ohne Kalibriereinstellung ermöglicht. Darüber hinaus verwendet es ein Glockenglas, um eine Kontamination der Wafer während des Prozesses sowie ein automatisiertes Läppmodell zu verhindern, das ein gleichmäßiges Polieren gewährleistet. Die Schleifplatte des Geräts besteht aus einer schnell rotierenden diamantbeschichteten Scheibe, die in einem einstellbaren Geschwindigkeitsregler untergebracht ist. Dadurch kann der Anwender die gewünschte Poliergeschwindigkeit von 20 bis 1000 U/min auswählen, die über ein digitales Bedienfeld in Echtzeit überwacht wird. Zusätzlich wird die diamantbeschichtete Scheibe dynamisch ausgewogen, um eine hohe Genauigkeit beim Schleifen und Polieren zu gewährleisten. Die Läppstation besteht aus einer pneumatisch angetriebenen Läppplatte, die die Oberflächenrauhigkeit des Substrats durch Polieren von Partikeln verringern soll. Die Polierstation besteht aus einem planetenartigen Polierkopf, der mit einem Hochleistungsgerät, dem sogenannten Polierer, ausgestattet ist. Dieses entworfene Gerät ist so konzipiert, dass es sich beim Polieren in zwei Richtungen gleichzeitig dreht und somit gleichmäßige und genaue Polierergebnisse mit minimaler Variation ermöglicht. OKAMOTO ASM-100A wurde entwickelt, um flexible und leistungsstarke Prozesse anzubieten, die exakten Kundenspezifikationen entsprechen. Das System wurde entwickelt, um enge Toleranzen zu erfüllen und bietet dem Benutzer sowohl qualitativ hochwertige Ergebnisse als auch Leistung. Sein Leistungsspektrum ermöglicht das präzise Polieren von Wafern mit flexiblen Prozesseinstellungen für eine Vielzahl von Anwendungen.
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