Gebraucht OKAMOTO ASM-420M #9216418 zu verkaufen

OKAMOTO ASM-420M ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für den Betrieb als komplette, automatisierte Lösung entwickelt wurde. Das System ist mit einer Doppelspindel ausgestattet, die jeweils Wafer mit einem Durchmesser von bis zu acht Zoll verarbeiten kann. Die beiden Spindeln bieten eine unabhängige Kontrolle über den Schleif- und Polierbetrieb und ermöglichen die präzise Oberflächenveredelung. Das Gerät ist so programmiert, dass es sich automatisch auf optimale Prozesse und Produktivität kalibriert und somit die Programmierzeit reduziert. Zum Schleifen und Polieren werden die Wafer in Halterungen eingelegt und an den Spindelhaltern befestigt. Nach dem Aufsetzen der Wafer erfolgt die Spalt- und Kontakterkennung zur Messung des Oberflächenprofils und der Defekte. Der Schleifvorgang wird durch die beiden auf jeder Spindel befindlichen Schleifscheiben erreicht. Die Spindel hat eine lineare Beschleunigung und Verzögerung und ist verstellbar, um ein präzises Schleifen des Wafers zu gewährleisten. Der Poliervorgang erfolgt durch den Teilwechselpolierer, der sich auf der vertikalen Achse befindet. Dadurch kann sich das Polierkissen in einer kreisförmigen Bewegung nach oben, unten und seitlich bewegen. Die Wafer werden dann nach dem Schleifen und Polieren auf das rückwärtige Ende übertragen. Dieses Modul besteht aus einer Wafer-Entgasungsmaschine und einem optionalen Nachbearbeitungsmodul. Das Entgasungswerkzeug verwendet eine rotierende Bürste und chemische Lösung, um die letzten verbleibenden Verunreinigungen von der Oberfläche zu entfernen. Das Nachbearbeitungsmodul dient zur Inspektion und Einstellung der Oberflächenrauhigkeit mittels chemischer Mittel. Der gesamte Workflow wird durch die Prozessüberwachung überwacht und geregelt, die die Schleif- und Poliertemperaturen, Lücken und Kontakte misst und erfasst. Dieses Modell bietet die vollständige Kontrolle über die Prozessparameter, so dass eine große Anzahl von Wafern verarbeitet werden können, bei gleichbleibender Qualität. ASM-420M ist eine effiziente Lösung für das Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern und bietet überlegene Flexibilität und Skalierbarkeit. Seine fortschrittliche Leistung und Prozesskontrolle sorgen für zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse, während sein automatisierter Betrieb kürzere Rüst- und Programmierzeiten ermöglicht.