Gebraucht OKAMOTO VG 502 MKII 8 #293804366 zu verkaufen

OKAMOTO VG 502 MKII 8 ist eine Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung für die Halbleiterherstellung. Es eignet sich zur Verarbeitung von mehrschichtigen Halbleiterscheiben mit einem Durchmesser von 8 Zoll (200 mm). Das System ist mit einer 8-Zoll-Schleifscheibe und zwei 8-Zoll Bob Gust Type Läpprollen ausgestattet. Die Schleifscheibe verfügt über eine einstellbare Werkstückgeschwindigkeit mit einem Bereich von 0-30 m/sec, während die Läpprollen mit bis zu 6 m/sec arbeiten. Das Gerät verfügt über eine 3-Achsen-Stufe und eine motorisierte Hubmaschine zur präzisen Materialabfuhr. OKAMOTO VG-502 MKII 8 verwendet einen einzigen Linearmotor für hohe Geschwindigkeit und präzise Positionierung. Das Werkzeug hat eine maximale Beschleunigung von 4500 mm/sec2 und eine Wiederholbarkeit in der X-Y-Ebene von 0,02 μ m. Es hat eine Arbeitsfläche von 140 x 140 mm, mit einem Bewegungsbereich von 1150 x 2550 mm. Das Asset ist mit mehreren Prozessüberwachungsfunktionen ausgestattet, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Das Modell überwacht Oberflächengüte, Vibrationen, Radgeschwindigkeit, Raddurchmesser, Raddruckniveaus, Radkopftemperatur und -druck, Oberflächenform und Waferexzentrizität. Das Gerät ist mit einer Mehrkopfladeanlage ausgestattet, die eine gleichzeitige Bearbeitung von bis zu acht Wafern ermöglicht. Ein Gleichstrommotor und ein Getriebe sorgen für eine gleichmäßige Drehung des Radkopfes. VG 502 MK II 8 verfügt über eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche, um verschiedene Parameter und Prozessschritte zu programmieren. Das System ist mit einer SPS-basierten Steuerschaltung zur Einstellung von Parametern wie Schleifscheibendrehzahl, Vorschubgeschwindigkeit und Raddruck ausgestattet. Das Gerät ist in der Lage, schnelle und genaue Waferschleif-, Läpp- und Polieroperationen durchzuführen. Es ist mit einer optionalen Reinigungsmaschine für die Reinigung der Schleifscheibe erhältlich. Das Werkzeug erfordert eine minimale Wartung und enthält eingebaute Sicherheitsfunktionen, um den Benutzer vor unbeabsichtigtem Kontakt mit der Schleifscheibe zu schützen.