Gebraucht OPTOTECH ASM 80 #9198173 zu verkaufen

OPTOTECH ASM 80 ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für die Herstellung unterschiedlichster Halbleiterbauelemente entwickelt wurde. Es ist mit einer Halbleiterschleifeinheit und einem dreiachsigen Tisch zum Polieren der angegebenen Substrate ausgestattet. Die Schleifeinheit mit Diamantscheibe und hochpräzisem Servoantrieb ermöglicht das präzise Schleifen komplexer Formen und Ebenen mit minimalem Materialabtrag. Der Läppprozess wird mit einer Kombination aus Diamant und kolloidalen Schlämmen sowie scharfkantiger Aluminiumoxid-Aufschlämmung durchgeführt, um den Prozess zu beschleunigen. Die Aluminiumoxid-Aufschlämmung hilft dabei, Nanometer-Grade-Oberflächen auf dem Substrat zu erzeugen, während die Diamantaufschlämmung zu hohen Produktionserträgen führt. Die ASM 80 Polierstation ist mit zwei Polierköpfen ausgestattet, die mit zwei unabhängigen Diamantsteuerungen verbunden sind. Jeder Polierkopf hat einen Roboterarm mit einem speziellen Polsterhalter, der eine präzise Positionierung und Geschwindigkeitsregelung ermöglicht. Die Regler haben auch eingebaute Funktionen wie eine Autofokus-Steuerung, eine Substratschutzeinheit und eine Kontaktwinkeleinstellmaschine. Ein automatisches Polierprogramm ermöglicht die präzise Steuerung der verstrichenen Zeit und die genauen Einstellungen für die Parameter, die das Polieren steuern. Das Programm ermöglicht auch die Einstellung des Kontaktwinkels und des Drucks zwischen dem Pad und dem Substrat. OPTOTECH ASM 80 ist mit einer eingebauten Dickschichtregenerationsstation ausgestattet, die präzise Substratdicken bis 0,2 mm erreichen kann. Die Regenerationsstation hat einstellbare Geschwindigkeit, Druck und abrasive Einstellungen sowie ein spezielles Druckentlastungswerkzeug, das empfindliche Substrate schützt. Schließlich ist ASM 80 zur Nachpoliermessung in der Lage, die Fähigkeit zur Messung von Substratebenheit und Oberflächentextur sowohl mit einem Nahfeld-optischen Mikroskop als auch mit einem Rasterelektronenmikroskop. Das Gut ist auch in der Lage, in situ die Kontaktwinkel zwischen Substraten und dem Polierkissen zu messen. Insgesamt ist OPTOTECH ASM 80 ein vielseitiges und benutzerfreundliches Modell zum Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern, das eine hohe Präzisionsleistung bietet. Dies ist ideal, um qualitativ hochwertige Ergebnisse in der Halbleiterbauelementherstellung zu erzielen.