Gebraucht PETER WOLTERS / LAPMASTER microLine AC 2000-P2 #9352425 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9352425
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Double side polishing machine, 12"
Wheel dimensions:
Outer: 1935 mm
Ring width: 686 mm
Thickness: 80 mm
Wheel distance: 190 mm With 80 mm wheel thickness
Pneumatic:
Maximum load pressure: 3500 daN
Compressed air: 6,5 Bar
Electronic equipment:
Servo drives digitally controller
Upper wheel: 46 kW/40 min⁻¹
Lower wheel: 46 kW/40 min⁻¹
Inner workpiece drive: 7,5 kW/min⁻¹
Outer workpiece drive: 7,5 kW/min⁻¹
Hold the drive aggregates for lower working wheel and workpiece drive
Electromechanical height adjustment for outer and inner pin ring
Splash guard pan
Assembly connections for easy access
Pneumatic load control
Interception device
Weighting device
Drives
Working wheels
Safety device
Corrosion resistant design
Electric switch cabinet (Air cooled)
CNC Controller
Operating panel
Polishing media connection and metering
Slurry distribution system
Polishing media collecting channel
Tool kit
Basical range of CNC Control S7-400 With visualization
Pressure control via proportional valve and pressure sensor
Display of the actual pressure value
13-Pressure ranges
Variable speed of rotation change in each pressure range of each drive
Variable change of rotation direction
Automatic swiveling in / out
5-Conditioning program with recorded inception heights
Alternative list for selective programming functions:
Swiveling device
Starting of the drives
Feeding of the polishing media
Wet mode
0020: Brush program
0030: Cooling water temperature monitoring
0040: Rinsing and spraying device (Chemical polishing)
0050: Spraying device
0060: Levelling device for horizontal adjustment of the upper working wheel
0070: Epicyclic work holder drive system
0080: (2) Polishing wheels
0090: Back up
Options:
0100: Power backup
0110: Polishing compound connection
0120: Cable identification
0130: Mixing block
0140: Taiwan electrics
Electrics: 460 V
UPS: 230 V
0150: Packing
0160: Commissioning
0170: Status light
0180: Loading counter
0190: Second hand operation station
0200: Shower guns for DI- Water
0210: (2) Heating / Cooling aggregate (WRK) 12760 W
0220: Heating / Cooling aggregate Heating possibility up to 55°C
0230: Fittings for cooling water circulation system with refrigeration unit
0240: 6-Step polishing program
0260: Fiberglas cable
0270: Separate drive security
0290: Signal tower with LED
0300: Indication of signal tower
0310: Upgrades
0320: 80-Polishing feed holes
0330: Anti-syphoning package
0340: Measuring device (Flatness)
0350: Distance block set
0360: Steel straight edge, 2000-0 mm
0370: Additional cable length
0380: Engineering costs
0390: PDR System
Power supply: 400 V + 6%-10% (Acc. DIN IEC 38)
Frequency: 50 Hz
Control voltage: 203 V / 24 VDC
2007 vintage.
LAPMASTER AC 2000-P2 ist eine Schleif-, Läpp- und Poliervorrichtung für Halbleiterscheiben. Es ist ein Präzisionsinstrument mit einem computergesteuerten Controller, einem modularen fehlerfreien Spindelantrieb und einer breiten Palette hochwertiger abrasiver Materialien und schnellem Umschalten auf einem Granitsockel von Industriegüte. Das System ist für das 200-300 mm Wafer-Läppen und Schleifen mit höchster Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit ausgelegt. Das AC- 2000-P2 verfügt über einen zweistufigen Läpp- und Polierprozess. Jede Stufe ist zweigeteilt: Die erste Stufe besteht aus einer Montagestation, einer Wafer-Klemmplatte und einem robusten Läpprad. Die zweite Stufe verwendet ein anderes Läpprad und verfügt über einen Polierkissen-Halter und einen groben bis feinen Verlauf von Schleifmitteln. Beide Stufen umfassen eine variable Geschwindigkeitseinstellung, die es dem Bediener ermöglicht, die Geschwindigkeit nach Bedarf zu erhöhen oder zu verringern. Das AC- 2000-P2 verfügt auch über einen computergesteuerten Controller, der dem Bediener detaillierte Daten wie Laufzeit, Prozesseinstellungen, automatische Abschaltung und Statusanzeigen zur Verfügung stellt. Der Controller ist extrem flexibel und kann eine breite Palette von Optionen für die Eingabewahl akzeptieren, wie manuelle, halbautomatische und vollautomatische Modus. Das Gerät bietet auch einstellbare Parameter wie Druck, Schlupf und Schwingungsgrenzregelung, um die höchste Prozessgenauigkeit zu gewährleisten. Die Maschine verfügt auch über ein integriertes Staubentfernungswerkzeug. Luftschaufeln ziehen erzeugten Schleifstaub ab, während es außerhalb der Maschine entsorgt wird. Die Staubsammelmaschen haben auch einstellbare Einstellungen, um die strengsten Partikelanforderungen zu erfüllen. PETER WOLTERS AC 2000-P2 ist mit einem modularen fehlerfreien Spindelantrieb ausgestattet, der einen hochpräzisen Betrieb bietet. Dieses anspruchsvolle Design, kombiniert mit den Prinzipien der Ergonomie und der Wechselstrommotortechnik, sorgt für einen zuverlässigen und sicheren Betrieb. Die Anlage umfasst auch eine Vielzahl optionaler Module, wie eine Lufteinheit für Wafer-Klemmung und Überdruckregelung, sowie ein hochgenaues Schwingungsschutzmodell. Diese Eigenschaften machen PETER WOLTERS/LAPMASTER AC 2000-P2 eine ideale Maschine für die Massenproduktion von hochpräzisen Wafern. Seine Präzisionstechnik und Flexibilität bieten eine echte „All-in-One“ -Ausrüstung, die zum Läppen, Polieren, Luftblasen und anderen im Produktionsprozess erforderlichen Verfeinerungen geeignet ist. Der Controller des Systems gibt dem Bediener volle Kontrolle über den Prozess und ermöglicht so eine überlegene Prozessqualität. Die AC- 2000-P2 ist eine ideale Wahl für Hersteller, die eine zuverlässige Einheit für die Herstellung von Halbleiterscheiben suchen.
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