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SCHNEIDER CCP Swift Wafer Schleif-, Läpp- und Polieranlagen ist ein leistungsstarkes und effizientes Werkzeug zum präzisen Polieren und Schleifen von Wafern für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen. Dieses System wurde entwickelt, um hohe Leistungsanforderungen für die Herstellung ultraflacher und gleichmäßiger Oberflächen für Wafer-Anwendungen einschließlich CMP (Chemical Mechanical Planarization) -Prozesse zu erfüllen. CCP Swift verwendet eine Hochdruck-Luftzirkulationseinheit mit hoher Geschwindigkeit, um eine Schleiffläche mit niedrigem Profil zu schaffen, die ideal für das schnelle und gleichmäßige Läppen/Polieren von Waferoberflächen ist. SCHNEIDER CCP Swift verfügt über eine hochpräzise Luftlagerspindel, die mit Glätte, Präzision und Stabilität für maximale Leistung arbeitet. Die Luftlagerspindel kann in der Geschwindigkeit von 0 bis 550 U/min variiert werden, was eine präzise Prozesssteuerung und effiziente Bearbeitungsvorgänge ermöglicht. CCP Swift ist auch mit einer dynamischen Auswuchtmaschine ausgestattet, die einen reibungslosen, vibrationsfreien Betrieb während des gesamten Prozesses gewährleistet, wodurch die manuelle Vibrationskontrolle entfällt und sowohl schnelle als auch genaue Schleifschliff-Polieroperationen ermöglicht werden. SCHNEIDER CCP Swift ist in der Lage, Substrate verschiedener Größen und Dicken zu schleifen, zu läppen und zu polieren, einschließlich flacher Proben von bis zu 600mmX600mm. CCP Swift ist auch mit einem einzigartigen integrierten Reinraum ausgestattet, der Verunreinigungen des Substrats verhindert, indem der Einsatz von Außenfiltern und Luftreinigern vermieden wird. Dieser integrierte Reinraum ist mit HEPA-Filtration ausgestattet und bietet dem Anwender einen zusätzlichen Schutz bei gleichzeitiger Gewährleistung einer sicheren und sauberen Arbeitsumgebung. SCHNEIDER CCP Swift ist eine vielseitige und präzise Maschine, die benutzerfreundlich und zuverlässig ist. Es ist einfach zu programmieren und schnell anpassbar für Anwendungen mit einer Vielzahl von verschiedenen Wafergrößen, so dass Komfort sowie Effizienz für die Benutzer. CCP Swift ist ein ideales Werkzeug, um Wafersubstrate höchster Qualität mit kürzesten Prozesszeiten zu erreichen.
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