Gebraucht SHENG TECHNOLOGY GTC-107021 #293647874 zu verkaufen
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SHENG TECHNOLOGY GTC-107021 ist eine automatisierte Schleif-, Läpp- und Polieranlage, die extrem flache, gleichmäßige und fehlerfreie Oberflächen auf Wafern und Halbleitersubstraten herstellt. Dieses System eignet sich für verschiedene Materialien wie Silizium (Si), Siliziumcarbid (SiC) und Galliumarsenid (GaAs). GTC-107021 verfügt über zwei Stufen des Waferschleifens, Läppens und Polierprozesses. In der ersten Stufe verwendet das Gerät festschleifendes Schleifen, um die Oberflächenrauhigkeit schnell und genau zu reduzieren. Diese Maschine ist mit Diamantschleifscheiben ausgestattet und steuert automatisch die notwendigen Schleifparameter, um die gewünschte Oberflächenstruktur und Qualität zu schaffen. Das Polierverfahren der zweiten Stufe verwendet lose Schleifaufschlämmungen von Diamant- oder Schleifpartikeln, um eine sehr hohe Planarisierung und Oberflächengüte zu erreichen. Das Werkzeug kann auch Oberflächenfehler erkennen und verfolgen, um die Oberflächengüte zu charakterisieren. Durch die Roboterbelastung des Asset können Wafer unterschiedlicher Größe und Dicke problemlos be- und entladen werden. Der Prozess kann über eine Mensch-Maschine-Schnittstelle überwacht werden, und die Fernüberwachung und Steuerung des Modells ist über Ethernet oder serielle Verbindung leicht zugänglich. Prozessrezepte sowie alle Aufzeichnungen von Operationen werden zum einfachen Abrufen und Analysieren gespeichert. Die Werkzeugmaschinen sind auch temperatur- und feuchtigkeitsgesteuert, und die Kühlmittelausrüstung hilft, die Diamanträder und Schlämmen vor Überhitzung zu bewahren. SHENG TECHNOLOGY GTC-107021 bietet eine zuverlässige und kostengünstige Lösung zum Schleifen und Polieren von Wafern und erzielt wiederholbare Ergebnisse mit sehr geringer Oberflächenrauhigkeit, hoher Gleichmäßigkeit und fehlerfreier Leistung nach Standards. Das System eignet sich für eine breite Palette von Halbleiterprozessen, einschließlich Front-Side und Back-Side Lapping und Polieren, Herstellung von Halbleiterscheiben und Substraten und Inspektion der Oberflächentopographie. Das Gerät kann extrem flache, fehlerfreie und gleichmäßige Oberflächen für eine Vielzahl von Anwendungen erreichen, einschließlich Solarzellensubstrate und MEMS.
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