Gebraucht SHUWA SGM-6301 #9256700 zu verkaufen

SHUWA SGM-6301 Wafer Schleif-, Läpp- und Polieranlagen ist ein Präzisionsautomatisierungssystem zum Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern auf Submikron- und Nanometerqualitätsniveau. Die Einheit eignet sich zum Schleifen, Läppen und Polieren verschiedener Halbleitermaterialien und Verbindungsschichten. SGM-6301 automatisierte Maschine besteht aus einem hocheffizienten Roboterlader, der bis zu 8 Waferhalter aufnehmen kann und Wafer zwischen Kammern übertragen kann. Die integrierte Software bietet sowohl Becherrad und frequenzgesteuerte Modus, um überlegene Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit zu erreichen. Das gesamte Werkzeug ist mit einer fortschrittlichen Bewegungssteuerung integriert, die eine genaue Bewegung jeder Achse gewährleistet. Ein einzelner Tischpositionierer in SHUWA SGM-6301 ermöglicht das Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern auf einer einzigen Plattform. Es hat einen einstellbaren Modelldruck für eine gleichmäßige Druckverteilung sowie einen dynamisch einstellbaren Neigungswinkel, um gleichmäßige Schleif- und Läppergebnisse zu erzielen. Das Gerät verfügt zudem über eine einstellbare Schleif-, Läpp- und Poliergeschwindigkeit sowie über einstellbare Beschleunigungen/Verzögerungen. SGM-6301 System umfasst drei separate Schleif-/Polierkammern, in denen Waferhalter beladen sind. Zwei der Kammern dienen zum Schleifen und Läppen, während die dritte Kammer zum Polieren verwendet wird. Das Gerät umfasst zwei verschiedene Schleifscheiben, die das Schleifen und Läppen von Wafern unterschiedlicher Größe und Form ermöglichen. Die Maschine hat auch eine aktive Polierplatte, die in der Lage ist, Oberflächengüte von 0.1μmRa oder besser zu produzieren. SHUWA SGM-6301 Wafer Schleif-, Läpp- und Polierwerkzeug bietet eine lange Lebensdauer und geringe Wartungskosten durch den Einsatz hochwertiger Teile und Abschirmungskomponenten. Das integrierte Kommunikationsprotokoll und die mehrsprachigen Programmierfunktionen ermöglichen eine schnelle und einfache Einrichtung ohne aufwendige technische Ressourcen. Das Asset verfügt zudem über eine breite Palette optionaler Funktionen wie einen erweiterten Wafer-Handler, Vakuum-Wafer-Handling und erweiterte Datenerfassungs- und Überwachungsfunktionen.