Gebraucht SOMOS MDF 400 Series #132873 zu verkaufen
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ID: 132873
Wafergröße: 6"
Double sided lapping and polishing machines, up to 6"
Interchangeable configurations to process components 200 microns to 6".
SOMOS MDF 400 Series ist eine schlüsselfertige Lösung zum Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern. Die Serie ist für Prozessentwicklungs-, Produktions- und Messtechnik-Anwendungen in der heutigen Compound-Halbleiterindustrie konzipiert. Die Maschine bietet einen leistungsstarken Schleif-, Läpp- und Polierbetrieb mit voller Automatisierung und kann leicht an die Anwendungsanforderungen des Anwenders angepasst werden. Es ist mit einer computergesteuerten Bewegungssteuerung ausgestattet, die eine genaue Prozesswiederholbarkeit ermöglicht und optionale Werkzeuge wie Diamantschleifscheiben, Diamantlappplatten und Polierscheiben bereitstellt. Der Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierprozess in Kombination mit fortschrittlichen Software- und Hardwaresteuerungslösungen von SOMOS sorgt für hohe Qualität und Präzisionsergebnisse bei gleichzeitiger Minimierung der Verarbeitungszykluszeit und der Produktionskosten. MDF 400 Series verwendet eine Reihe fortschrittlicher Technologien, die ein Höchstmaß an Präzision und Waferoberflächenintegrität ergeben. Die fortschrittlichen Servo-gesteuerten Schleif-, Läpp- und Polierköpfe wurden entwickelt, um die höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit konstant zu erhalten. Diese Köpfe sind mit einer Positioniergenauigkeit von 0,1 μ m sowie einer Schrittweite von 0,025 μ m ausgestattet. Das Schleif- und Polierverfahren für den Einsatz auf Mono- und Multikristalloberflächen kann so konfiguriert werden, dass es mit einer Vielzahl von Substraten und Vorrichtungen arbeitet. SOMOS MDF 400 Serie hat die Fähigkeit, mehrere Arten von Substraten zu verarbeiten. Es hat die Fähigkeit, sowohl Mono- als auch Multikristalloberflächen von 125mm, 150mm und 200mm Wafern zu verarbeiten. Die Maschine verfügt über ein zweistufiges Heiz- und Kühlsystem, das die gleichmäßige Temperatur auf der gesamten Waferoberfläche gewährleistet. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer dynamischen Staubsammelmaschine ausgestattet, die feine Partikel und Staub aus dem Prozess entfernt und gleichzeitig die dynamische Werkzeugumgebung schont. Eine grafische Benutzeroberfläche ermöglicht eine einfache Steuerung und Überwachung von SOMOS MDF 400, wodurch die Belastung frei bleibt und maximale Flexibilität gewährleistet wird. Der Benutzer kann den gesamten Prozess in Echtzeit überwachen, Prozessergebnisse analysieren und Einstellungen speichern, um den Prozess präzise replizieren zu können. Die Maschine unterstützt auch die Prozessprotokollierung und -berichterstattung, sodass der Anwender Prozessdaten genau verfolgen und wertvolle Erkenntnisse über die Wiederholbarkeit und Qualität der durchgeführten Prozesse gewinnen kann. Die MDF 400 Serie bietet zudem eine umfassende Reihe von Sicherheitsmerkmalen und ist auf die Einhaltung aller relevanten Sicherheitsvorschriften ausgelegt.
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