Gebraucht SPEEDFAM 12B-6L #9007407 zu verkaufen
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SPEEDFAM 12B-6L ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Mit 6 Schleifscheiben ist das System in der Lage, Halbleiterscheiben genau und schnell zu schleifen, um die gewünschte Oberflächengüte und Maßgenauigkeit zu gewährleisten. Das Gerät ist für überlegene Qualität und zuverlässige Leistung ausgelegt, die sowohl eine niedrige als auch eine hohe Serienproduktion ermöglicht. 12B-6L verfügt über eine 30-Zoll-Stahl-geschlossene Kammer mit Getriebe Zwangsluftlüftung, die eine effektive Temperaturregelung ermöglicht, die für ein gleichmäßiges Polieren aller Wafer in der Maschine unerlässlich ist. Das Werkzeug beseitigt auch die Möglichkeit eines Waferbruchs durch zu hohen Schleifdruck und Temperatur. Die 6 Schleifscheiben sind individuell auf dem Tisch verstellbar und für automatische, sich wiederholende Schleiffolgen programmierbar. SPEEDFAM 12B-6L verfügt auch über einen Work Flow Monitor (WFM), ein Prozesskontrollelement, das hilft, die Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit jedes Zyklus beizubehalten und sicherzustellen, dass Wafer ihre gewünschte Form und Oberflächengüte behalten. Dieses Modell verwendet programmierbare Speicherkarten, um die Lieferung konsistenter Ergebnisse für jede Wafergröße und -dicke zu gewährleisten. Zur Einhaltung höchster Qualitätsstandards während der Produktion verwendet 12B-6L eine „Safety Interlock“, die Betriebsunfälle durch menschliches Versagen verhindert. Es hat eine zwölfte Generation Läppplatte über den Schleifscheiben positioniert, die Kante und Oberfläche Gratentfernung durchführt. Darüber hinaus ist der motorisierte Arbeitskopf auf eine Vielzahl von Winkeln OSA (optische sphärische Aberration) einstellbar und erzeugt Wafer mit hoher Genauigkeit und klaren Bildern. Das Gerät ist mit einem Computermonitor und einem Drucker ausgestattet, der eine digitale Aufzeichnung aller Produktionsläufe liefert. Dies liefert ein Datenprotokoll der fertigen Waferzählung, Schleifzykluszahl und -zeit, Polierparameter und Waferoberflächenbedingungen. Dieses Protokoll wird dann ausgedruckt und ermöglicht eine weitere Analyse der Daten, eine Überprüfung des Prozesses und eine kontinuierliche Optimierung. SPEEDFAM 12B-6L ist ein zuverlässiges System, das zeitraubende manuelle Operationen eliminiert und dadurch die Produktion verbessert. Mit seiner hohen Genauigkeit und Wiederholbarkeit ist es ein wichtiges Werkzeug für die Halbleiterherstellung.
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