Gebraucht SPEEDFAM 12B-8L #9114397 zu verkaufen

SPEEDFAM 12B-8L ist eine robuste, benutzerfreundliche Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die hauptsächlich für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Dieses System basiert auf einem großen, modularen Aufbau, der verschiedene Automatisierungsstufen und Flexibilität bei der Verarbeitung unterschiedlichster Wafermaterialien ermöglicht. 12B-8L verfügt über einen automatischen Schleiftisch, der bis zu 24 Waferboote mit einem maximalen Waferdurchmesser von 8 Zoll aufnimmt und eine parallele Verarbeitung und Kosteneffizienz in der Großserienproduktion ermöglicht. Darüber hinaus ist der Schleiftisch mit einem Linearmotorantrieb ausgestattet, der eine genaue und stabile Drehzahlregelung des Schleiftisches ermöglicht, was eine überlegene Wafer-zu-Wafer-Konsistenz ergibt. Der folgende Verfahrensschritt ist das Läppen, bei dem Schleifmittel auf die ebene Oberfläche des Wafers abgegeben und gleichzeitig und gleichmäßig mit den Läppköpfen niedergeläppt wird. SPEEDFAM 12B-8L ist mit einem 2-Achsen verstellbaren Läppkopf ausgestattet, der eine genaue und effiziente Regelung des Läppvorgangs ermöglicht. Der verstellbare Kopf ermöglicht auch eine hohe Ebenheit für jeden Wafer sowie Flexibilität, um auf die Bedürfnisse einer breiten Palette von Materialien zu reagieren. Die letzte Stufe ist das Polieren, wobei das überschüssige Material aus dem Läppvorgang entfernt und reflektiert wird. Das Gerät verwendet eine breite Palette von Standard-Polierverbrauchsmaterialien und Zubehör (wie Gülle, Polierkissen und Scheiben), die den Wafern eine glatte und glänzende Oberfläche verleihen. Die Polierköpfe sind mit einer aktiven Laststeuerung ausgestattet, die während des gesamten Prozesses eine gleichmäßige Materialabfuhrrate gewährleistet. 12B-8L ist eine effiziente Schleif-, Läpp- und Poliermaschine für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es verwendet einen großen, modularen Aufbau mit verstellbaren und automatisierten Steuerungen, um genaue und konsistente Ergebnisse in der Großserienfertigung zu ermöglichen. Weitere Merkmale sind ein Linearmotorantrieb, ein 2-Achsen verstellbarer Läppkopf und eine aktive Laststeuerung, die alle dazu beitragen, optimale Waferergebnisse zu gewährleisten.