Gebraucht SPEEDFAM 16B-5L #293797039 zu verkaufen
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SPEEDFAM 16B-5L ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es ist sowohl in der Lage, einzelne Wafer und Batch-Verarbeitung von Wafern bis zu 8 "im Durchmesser. Das System ist mit einem 32-Positionen-Läppkopf ausgestattet, mit dem maximal 32 Wafer in einem Zyklus geläppt werden können. Das Gerät ist in der Lage, präzise Schleif- und Läppergebnisse zu erzielen und eignet sich ideal für Serien- und Forschungsanwendungen. Die Maschine verfügt über einen Transferroboter, der Wafer vertikal zwischen den Schleif-, Läpp- und Polierstationen bewegen soll. Der Roboter verhindert zusammen mit der Schlitzwand eine Kreuzkontamination von Partikeln zwischen Schleif- und Polierstufen. Der Läppkopf ist so konzipiert, dass er eine gleichmäßige Oberflächengüte bietet und präzise Geometrien und Größen durch fortschrittliches Schleifen, Läppen und Polieren bereitstellt. Zum Drehen des Wafers mit konstanter Geschwindigkeit wird eine präzise Luftlagerspindel verwendet. Die Spindel ist mit einer Kraft aufgehängt, die Vibrationen eliminiert und sicherstellt, dass der Wafer während des gesamten Schleifvorgangs in der exakt gleichen Position bleibt. Dies trägt dazu bei, die Möglichkeit von Toreschäden oder anderen Schäden am Wafer zu minimieren. SPEEDFAM 16B5L Tool enthält auch einen Hochgeschwindigkeits-Bordcomputer, der alle Funktionen des Assets steuern kann. Dieser Computer ist mit spezieller Software programmiert, die verwendet wird, um den Betrieb der Maschine zu überwachen und zu steuern. 16B-5L bietet ausgezeichnete Durchsatzgenauigkeit, Wiederholbarkeit und Oberflächengüte. Diese Maschine hat die Fähigkeit, Wafer von höchster Qualität und Genauigkeit für die Halbleiterindustrie zu produzieren. Seine hohe Geschwindigkeit, präzise Bedienung und Flexibilität machen es ideal für Forschungs- und Serienanwendungen.
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