Gebraucht SPEEDFAM 16B-5SSG-2M #9257687 zu verkaufen
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SPEEDFAM 16B-5SSG-2M ist eine multifunktionale Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung für die fortschrittliche Halbleiterverarbeitung. Dieses System besteht aus einem integrierten Maschinenrahmen mit fünf Spindeln, die bis zu 16 "Wafer handhaben können. Jede Spindel beherbergt bis zu zwei 8 „-Kassetten oder eine 16“ -Kassette. Der vorgesehene Servomotor erzeugt eine konstante Arbeitsgeschwindigkeit mit einer maximalen Drehzahl von 300 U/min, während die Krafteinspeisehalter geregelte Kraft auf den Schleif- und/oder Läppvorgang ausüben. Die Hauptanwendung des Geräts ist das ultrapräzise Schleifen und Polieren von dünnen oder empfindlichen Substraten wie Siliziumwafern und ultradünnen Gläsern. Die Querachsschleifstation ermöglicht eine qualitativ hochwertige Bearbeitung über alle axialen Richtungen. Die Maschine beinhaltet auch eine Work-In-Process (WIP) Kassettenstation, um sicherzustellen, dass jeder Schleif- und/oder Läppauftrag in der angegebenen Zeit abgeschlossen ist. Dies geschieht durch palettierte Automatisierung, um sicherzustellen, dass Aufträge schnell und präzise in und aus 16B-5SSG-2M übertragen werden. Die Zugabe eines automatisierten Flüssigkeitsabgabewerkzeugs ermöglicht eine schnelle und genaue Flüssigkeitszufuhr, um eine optimale Leistung der Schleif-, Läpp- und Polierprozesse zu gewährleisten. Diese Anlage wird durch eine benutzerfreundliche Schnittstelle mit Bildschirmmaschinensteuerung verwaltet, die es dem Bediener ermöglicht, kritische Parameter wie Schleifgeschwindigkeit, Schnittkraft und Flüssigkeitsstand zu überwachen. Darüber hinaus stehen softwaregesteuerte digitale Trockenkammern zur Verfügung, um Beschichtungs- und Abriebfestigkeit herzustellen und Abfälle durch Fehlhandlungen zu reduzieren. Das Modell beinhaltet eingebaute Sicherheitsfunktionen, wie eine „Lock-out“ -Funktion, um einen versehentlichen Betrieb während der Wartung zu verhindern. Die Türverriegelung sorgt auch für die Sicherheit des Personals bei Wartung und Betrieb. Das System ist mit geräuscharmem Betrieb und minimierter Vibration konzipiert, um den Bedienkomfort zu gewährleisten und die Umweltbelastung zu reduzieren. SPEEDFAM 16B-5SSG-2M hat sich als kostengünstige, zuverlässige und genaue Lösung für die Halbleiterveredelung erwiesen.
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