Gebraucht SPEEDFAM 16B #293825224 zu verkaufen
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SPEEDFAM 16B ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung für die präzise Oberflächenveredelung von Halbleiterwafern. Dieses System produziert hochpräzise Waferoberflächen mit konsistenter, gleichmäßiger Oberfläche, die den Industriestandards für Halbleiterbauelemente entspricht. SPEEDFAM 16 B wurde entwickelt, um ein konsistentes, wiederholbares Verfahren auf einer Vielzahl verschiedener Materialien zu ermöglichen, von harten, nicht arbeitenden Schichten aus Si und SiO2 bis zu dünnen Einkristallschichten aus III-V-Verbundhalbleitermaterialien. 16B bietet Wafer Schleifen, Läppen und Polieren Fähigkeiten bis zu 300mm im Durchmesser. Das Gerät ist für Materialien optimiert, die eine hohe Oberflächengüte erfordern, wie Saphir- und Diamantkristallscheiben. Die Maschine ist mit einer Präzisionsspindelmaschine ausgestattet, die Schleif- und Läppvorgänge sowie Feinpolierarbeiten ermöglicht, bei denen extrem glatte, gleichmäßige Oberflächen erforderlich sind. Das Werkzeug verfügt auch über einen Reichweitenkopf mit einer Vielzahl von verschiedenen Schleif- und Läppsteinen, die es einfach machen, die erforderliche Oberfläche auf jedem Material zu produzieren. Die integrierte Kontakterkennung erfasst den aktuellen Zustand des Materials und ermöglicht eine präzise Steuerung des Schleif- und Läppprozesses. 16 B bietet auch ein verstellbares Luftlager zur Handhabung von in Luft hängenden Wafern, was die Möglichkeit von Verschmutzungen und Verzerrungen infolge schlechter Handhabung reduziert. SPEEDFAM 16B hat einen Prozesskammertemperaturbereich von 20-80 ° Celsius, der ideal für thermische Prozesse ist. Das Modell wird auch mit einer integrierten Bildausrüstung zur Waferinspektion und Fehleranalyse geliefert. Dieses Bildsystem kann verwendet werden, um Waferdefekte schnell und präzise zu identifizieren, um konsistente Prozessergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus umfasst das Gerät erweiterte Prozessüberwachungs- und Messfähigkeiten, um eine überlegene Qualität der Verarbeitung zu gewährleisten. Insgesamt ist SPEEDFAM 16 B eine ideale Lösung für Operationen, die eine präzise Oberflächenbearbeitung in einer Vielzahl von Materialien erfordern. Die fortschrittlichen Prozessüberwachungs- und Messfähigkeiten, kombiniert mit der integrierten Bildverarbeitungsmaschine, sorgen für überlegene Qualität und konsistente Ergebnisse. Die verstellbare Luftlagerfunktion hilft auch, die Chancen von Waferverzug und Verschmutzung zu reduzieren. Diese Eigenschaften machen 16B zu einer effizienten, zuverlässigen und erschwinglichen Lösung für das Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern.
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