Gebraucht SPEEDFAM 16B #293825438 zu verkaufen

ID: 293825438
Weinlese: 2008
Double sided polisher 2008 vintage.
SPEEDFAM 16B ist eine Wafer Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für die Herstellung von Wafern mit geringer Rauhigkeit in hohem Volumen entwickelt wurde. Es ist für die Verarbeitung von Wafergrößen von 6 „und 8“ Durchmessern ausgelegt und kann bis zu 4.000 Wafer pro Stunde verarbeiten. Merkmale wie automatisches Be- und Entladen und ein vollautomatisches Endpunkterkennungssystem machen SPEEDFAM 16 B zu einer zuverlässigen, volumenstarken Lösung für eine Vielzahl von Anwendungen. Die Einheit umfasst einen Hauptkörper/Sockel, in dem die Schleif-/Läpp-/Polierköpfe, Be-/Entladearme und andere Komponenten untergebracht sind. Die Schleif-/Läpp-/Polierköpfe sind auf einem Drehtisch montiert und in Höhe und Winkel verstellbar. Die einstellbare Höhe und der Winkel ermöglichen die Anpassung an verschiedene Wafergrößen und -formen. Zusätzlich sind die Köpfe mit einer Spiralschleif-/Poliergeschwindigkeit, variabel von 0-600 U/min, für eine Vielzahl von Kraft-, Drehzahl- und Druckkombinationen ausgestattet. Die Be-/Entladerarme sind eine motorisierte Rollenmaschine, die mit einem zweikanaligen automatischen Halter verbunden ist. Der Ladearm ist mit zwei Rollen und einem Tablett mit fünf Waferhaltern ausgestattet. Der Halter ist so ausgelegt, dass er die Wafer automatisch aus dem Fach und in das Werkzeug bewegt, während der Entladearm die behandelten Wafer in das Fach zurückführt. Für die Steuerung der Anlage gibt es ein 16 "-Bedienfeld, das mit dem Hauptkörper integriert ist. Dadurch kann der Bediener den Betrieb des Modells einfach überwachen, einstellen und steuern. Das Bedienfeld verfügt außerdem über einen USB-Anschluss und einen Ethernet-Anschluss, der den Fernzugriff und den Betrieb der Geräte ermöglicht. 16B ist in der Lage, eine Vielzahl von Waferoberflächen zu behandeln, darunter mit Gold, Nickel, Aluminium, Titan und Wolfram beschichtet. Es ist mit prozessinternen Sensoren zur Messung von Parametern wie Druck, Temperatur, Schleifzeit und Produktqualität ausgestattet. Diese Daten können über das Bedienfeld überwacht und zur Optimierung jedes Prozesses verwendet werden. 16 B ist ein ausgeklügeltes und zuverlässiges System für die Serienfertigung von Wafern mit geringer Rauhigkeit. Das Leistungsspektrum macht es für eine Vielzahl von Anwendungen im Waferschleifen, Läppen und Polieren geeignet.
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