Gebraucht SPEEDFAM 18B-4L / 16B-5L #9208824 zu verkaufen
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ID: 9208824
Weinlese: 1982
Double side lapper
Wafer position correcting carrier
Motor
1982 vintage.
SPEEDFAM 18B-4L/ 16B-5L ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung für den kommerziellen Einsatz. Es ist ein fortschrittliches System, das hochpräzise Oberflächenveredelung für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie bietet. Diese Hochleistungseinheit besteht aus mehreren Komponenten, darunter Schleifmaschinen, Lupen, Polierer, Pufferblätter und Verbundplatten, die alle vollautomatisch gesteuert werden. Der Schleifprozess beginnt mit einer Hochgeschwindigkeits-Schleifscheibe, die mit bis zu 4.500 U/min rotiert, um überschüssiges Material genau und effizient von der Waferoberfläche zu entfernen. Nach dem Schleifen wird die Oberfläche für das Läppen vorbereitet, was mit einer optimierten rotierenden Läppeinheit durchgeführt wird, die Diamantpasten und Kompressen verwendet, um eine optimale und konsistente Flachheit und Parallelität der Waferoberfläche zu gewährleisten. An den Läppvorgang schließt sich eine spezialisierte Poliermaschine an, die über eine Vielzahl von Einstellungen verfügt, um eine präzise Planarisierung und Oberflächenveredelung zu ermöglichen. Dieses hochpräzise Polierwerkzeug kann Randechelons von bis zu 0,2 μ m und Oberflächenstruktur bis zu 0,052 μ m (Ra) erreichen. Die Anlage verwendet dann Pufferblätter, Verbundplatten und andere spezialisierte Werkzeuge, um eine hochglanzpolierte und reflektierende Oberflächengüte zu erzeugen. 18B-4L/ 16B-5L bietet auch eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen wie anpassbare Prozessrezepte, präzise Kontrolle von Schleif-, Läpp- und Polierzeiten, Lastüberwachungs- und Diagnosefunktionen, Produktrückverfolgbarkeit und mehr. Zusammen mit der hohen Genauigkeit und Wiederholbarkeit des Modells ist es eine geeignete Lösung, um qualitativ hochwertige Ergebnisse für eine Vielzahl von Materialien und Anwendungen zu erzielen.
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