Gebraucht SPEEDFAM 18B-5L #9143480 zu verkaufen
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ID: 9143480
Weinlese: 1983
Lapping system
Includes:
Pump
Wafer position correcting carrier
Direct lead
Instruction
1983 vintage.
SPEEDFAM 18B-5L ist eine innovative Schleif-, Läpp- und Poliervorrichtung, mit der ultraflächige, hochpräzise Oberflächen auf einem mikroelektronischen Gerät erzeugt werden. Es verwendet eine Kombination aus Schleif- und Läppverfahren, um eine glatte, einwandfreie Oberfläche auf dem Wafer zu erreichen. Dieses System eignet sich zum Waferschleifen, Läppen und Polieren auf einer Vielzahl von Materialien wie Aluminiumsilikate zu Lasersintermetallen und Keramiken. 18B-5L Gerät verfügt über umfassende Prozesssteuerungsfunktionen und Automatisierungsfunktionen, die wiederholbare, konsistente Ergebnisse aus jedem Teilezyklus ermöglichen. Die Maschine ist mit einer großen Schleifplatte ausgestattet, die einen Futterdeckelhalter mit abnehmbaren Platten hat. Mit seinem variablen Drehzahlantrieb kann SPEEDFAM 18B-5L für unterschiedliche Läpp- und Schleifaufgaben mit einer Vielzahl von Drehzahlen von 200 bis 3000 U/min programmiert werden. Dieses Werkzeug ist auch in der Lage, entweder mit Diamantschlämmen oder Nicht-Diamant-Schleifmittel zu läppen. 18B-5L verfügt über ein patentiertes Kühlmittel, das der Schleifplatte im laufenden Betrieb Kühlmittel zur Verfügung stellt. Dieses Modell wird auch mit einem digitalen Display geliefert, das die Schleif- und Läppprozessparameter wie Drehzahl und aktuelle Temperatur anzeigt. Das Display verfügt außerdem über eine Vakuumverbindung, um das Werkstück beim Schleifen und Läppen sicher zu halten. SPEEDFAM 18B-5L verfügt über eine breite Palette von Peripheriegeräten wie Be- und Entladeroboter, Automatisierungsplatten, Wafer-Rückenschleifplatten, Abrichtscheiben, Plattenhalter, Kontaktradersatz und Diamantschlamm. Dieses Gerät hat auch eine ionisierte Spritzschutzfunktion, um die Möglichkeit der elektrostatischen Entladung zu reduzieren und die höchste Sicherheit in der Arbeitsumgebung zu gewährleisten. Die Kombination aus Merkmalen wie dem variablen Drehzahlantrieb, der Schleifplatte mit Futterdeckelhalterung, der vollständigen Prozesssteuerung, dem patentierten Kühlmittelsystem, der digitalen Anzeige und der ganzen Bandbreite an Peripheriegeräten machen 18B-5L zu einer leistungsstarken Läpp- und Schleifeinheit für hochpräzise Oberflächen. Es bietet Anwendern die Möglichkeit, ultraflache Oberflächen schnell, effizient und mit höchster Sicherheit zu schaffen.
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