Gebraucht SPEEDFAM 18B-5LNS #9007409 zu verkaufen

SPEEDFAM 18B-5LNS ist eine integrierte Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung von SPEEDFAM America, Inc. Das Gerät wurde entwickelt, um mehrere Wafer verschiedener Durchmesser von 2 Zoll bis 8 Zoll bei hohen Geschwindigkeiten innerhalb des Halbleiterherstellungsprozesses zu verarbeiten. Das System kombiniert alle Prozessschritte vom Vorpolieren bis zum endgültigen Läppen, um auf beiden Seiten der Wafer überlegene Oberflächengüten zu erzielen. 18B-5LNS Poliermaschine ist für optimale Leistung mit vielen modernen Funktionen ausgelegt. Eigenschaften wie ein Low-Profile-Design für einfacheres Be- und Entladen von Wafern, eine verbesserte feste Schürzenbaugruppe zur Reduzierung von wellenförmigen Waferoberflächen und fortschrittliche pneumatisch betriebene Trennelemente, die die Flexibilität bieten, alle Größen von Wafern zu verarbeiten. Die Maschine verwendet auch einen fortschrittlichen PC-basierten Bewegungsregler für verbesserte Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Die automatisierten Schleif-, Läpp- und Polierfunktionen von SPEEDFAM 18B-5LNS sind einfach und effizient für den Bediener konzipiert. Das Gerät ist mit zwei unabhängigen Side-By-Side Bearbeitungswagen ausgestattet. Jeder Wagen enthält separate, unabhängige Ladeböden, die mit Spannfuttern ausgestattet sind. Die Wagen sind 3 Achsen mechanisch angetrieben mit Hochleistungs-bürstenlosen Servomotoren. Diese verfügen über einen mikroveredelten/gemahlenen Schieber und Kreuzfördermechanismus, die überlegene Glätte und Wiederholbarkeit bieten. 18B-5LNS Gerät ist mit einer speziellen Präzisionsspindelbaugruppe ausgestattet, die eine genaue Ausführung aller Prozessparameter gewährleistet. Ergänzt wird dies durch eine höhenverstellbare Schwerkraftvorschub-, Wafer-Handhabungsmaschine, die Halbleiterabfälle und Schmutzansammlungen reduziert. Das Werkzeug ist außerdem mit einer konfigurierbaren Option für unverlierbares Polieren (captive/non-captive Polishing) mit schwenkbaren Backup-Pad-Baugruppen ausgestattet, die eine kontrollierte Partikelabscheidung ermöglichen. SPEEDFAM 18B-5LNS Asset wird gründlich auf Qualität und Leistung bewertet, um seine volle Fähigkeit sicherzustellen, die Kundenanforderungen konsequent zu erfüllen. Das Modell ist jetzt mit einer Reihe von Standard- und kundenspezifischen vorkonfigurierten Optionen verfügbar, wie mehrfache Schleifscheiben, spezielle Wäscher, Automatisierungssteuerungen und Videoprüfsysteme. 18B-5LNS Ausrüstung ist ein unverzichtbares Werkzeug für die Halbleiterindustrie, das eine bessere Prozessstabilität und minimale Produktionsdurchlaufzeiten ermöglicht.