Gebraucht SPEEDFAM 20B-5L #9363669 zu verkaufen
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ID: 9363669
Weinlese: 2013
Double sided lapping machine
Workpiece dimensions:
Maximum diameter: 410 mm
Minimum thickness: 0.5 mm
Maximum thickness: 30 mm
Maximum down force: 684 kg
Down force range: 0 to 684 kg
Plate dimensions: φ 1355 x φ 458 x 50 t
Upper plate: 434 kg
Upper ring assembly: 460 kg
Lower plate: 18-60 RPM
Frequency: 50/60 Hz
(5) Carriers: 20B
Main cylinder: 180 φ x 500 st
Breaker capacity: 125/75 Amps
Main motor: 15 kW
Ring gear motor: 3.7 kW
Sun gear motor: 1.5 kW
Ring gear / Sun gear motor (Up / Down): 0.4 kW
Slurry pump: 0.4 kW
Agitation motor: 0.1 kW
Air pressure: 5-6 kgf/cm², 127 N1/min (5.5 kgf/cm²)
Carrier / Ring gear / Sun gear
M: 3 / 3 / 3
Z: 170 / 472 / 132
PCD: 510 / 1416 / 396
Power supply: 200/380 V, 50/60 Hz, 21.1 kW, 3 Phase
2013 vintage.
SPEEDFAM 20B-5L ist eine vielseitige Präzisionsscheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung. Es wurde entwickelt, um eine hochwertige, ultraflache und präzise strukturierte Oberfläche auf einer Vielzahl von Materialien und Substraten zu erzeugen. Das System nutzt eine einzigartige, dynamische, selbstladende/entladende Einheit, die mit einer 20-Zoll-Wafer-Schleif- und Poliermaschine integriert ist, um Substrate schnell und präzise zu verarbeiten. Es enthält eine spezielle künstliche Diamantschleif- und Läppoberfläche für die präzisesten Flachschleif- und Polierergebnisse. Die Maschine ist mit fortschrittlichen automatischen Wasserstrahl-Kühlsystemen ausgestattet, um die notwendige Arbeitstemperatur aufrechtzuerhalten. 20B-5L ist für eine Reihe von Forschungs-, Liefer- und Fertigungsvorgängen konzipiert, die Präzisionswaferschleifen, Läppen und Polieren erfordern. Sein modulares, multifunktionales Design bietet maximale Flexibilität, um eine Reihe von Substraten zu produzieren, darunter Silizium, Polysilizium, Siliziumdioxid, Galliumarsenid, Aluminiumoxid und Quarzglas. Es eignet sich auch für die hochpräzise Produktion von Mikroelektronik oder MEMS. Das Werkzeug ist mit einem hochwertigen 2-Achsen-Digital-Auslesen, einem SPS-gesteuerten Servomotorantrieb und einer integrierten Datenerfassung ausgestattet, die eine präzise Steuerung und Überwachung des Betriebs jedes Zyklus ermöglicht. Darüber hinaus bietet es eine Reihe fortschrittlicher Sicherheitsfunktionen für die Sicherheit des Benutzers, wie z. B. eine Nothaltetaste, läppische Haubensicherheitsfunktionen und ausfallsichere Schutztüren. SPEEDFAM 20B-5L ist mit einer Vielzahl von Produktivitätsressourcen ausgestattet, einschließlich einer ganzen Reihe von Prozessoptimierungsfunktionen, die die genauesten Ergebnisse ermöglichen. Es verfügt über eine mehrstufige Betriebskontrolle, um einheitliche Ergebnisse, optimales Schleifen, Läppen und Polieren zu gewährleisten. Es unterstützt auch eine ganze Reihe von Einstellungen für Prozessparameter, wie Schmierdruck, Schleif- und Poliergeschwindigkeit, Materialabtragsrate, Kantenbruch usw., um bei jedem Zyklus präzise Ergebnisse zu liefern. Schließlich bietet 20B-5L ein ergonomisches Design, das eine einfache Bedienung und Einrichtung ermöglicht. Es ist auch kompakt und kostengünstig, so dass es perfekt für enge Produktionsräume mit begrenzten Budgets. Mit all diesen Eigenschaften ist SPEEDFAM 20B-5L die ideale Wahl für Forschungs- und Produktionsvorgänge, die Präzisionsschleifen, Läppen und Polieren erfordern.
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