Gebraucht SPEEDFAM 20B-5L #9372666 zu verkaufen

ID: 9372666
Weinlese: 2013
Double sided lapping machine Maximum down force: 648 kg Down force range: 0-684 kg Plate dimension: φ 1355 mm x φ 458 mm x 50 t Upper plate: 434 kg Lower plate assembly: 460 kg Lower plate RPM: 18-60 RPM, 50/60 Hz (5) Carriers: 20B Main cylinder: φ 180 mm x 500 St Air supply: 6 kg/cm², 127 Nl/min (5.5 kg/cm²) Work piece dimension: Maximum diameter: φ 410 mm Minimum thickness: 0.5 mm Maximum thickness: 30 mm Carrier / Ring gear / Sun gear: M: 3 / 3 / 3 Z: 170 / 472 / 132 PCD: 510 / 1416 / 396 Breaker capacity: 125/75 A Main drive motor: 15 kW Ring gear drive motor: 3.7 kW Sun gear drive motor: 1.5 kW Ring gear / Sun gear motor (Up / Down): 0.4 kW Slurry pump, agitation motor: 0.4 kW, 0.1 kW Power requirement: 220/380 V, 3-Phase, 21.1 kW 2013 vintage.
SPEEDFAM 20B-5L ist eine präzise Wafer-, Läpp- und Polierausrüstung für die Halbleiterindustrie. Das System besteht aus einem 5-Achsen-Roboterkopf, einer Roboterbühne zur Handhabung von Wafern bis 20 Zoll Durchmesser, einem Hochtemperatur-Schleiftisch und einer Läppplatte. Der Roboterarm hat eine maximale Geschwindigkeit von 140 cm/sec und kann alle Arten von Schleifvorgängen von grob bis fein verarbeiten. Die Roboterstufe ist mit einem hochpräzisen Linearmotor ausgestattet, um präzise Bewegungen und genaue Ergebnisse zu liefern. Dank einer automatisierten Sichteinheit und fortschrittlicher Software ist 20B-5L in der Lage, schnell und zuverlässig Oberflächenschleifen und Läppen zu betreiben. Der Schleiftisch ist in der Lage, eine Reihe von Schleifkräften zu liefern, von schonend bis aggressiv. Eine programmierbare Funktion, die Tabelle kann eingestellt werden, um bestimmte Kraftniveaus entsprechend der Anwendung zu liefern. Der Tisch ist auch mit einem Hochtemperatur-Luftgebläse ausgestattet, um die Schleifgeschwindigkeit zu verbessern und die Schnittleistung zu optimieren. Die Läppplatte verfügt über einen Motor mit hohem Drehmoment, der den Läppvorgang antreibt, und der Tragtisch enthält einen Antrieb, der eine präzise Waferdrehung ermöglicht. SPEEDFAM 20B-5L ist für den Einsatz in rauen Produktionsumgebungen konzipiert, und eine robuste Konstruktion gewährleistet einen zuverlässigen Betrieb auch unter extremen Arbeitsbedingungen. Die Maschine verfügt über eine fortschrittliche Touchscreen-Schnittstelle, um Anwendern einfachen Zugriff auf alle Werkzeugoperationen zu ermöglichen. Darüber hinaus ermöglicht eine leistungsstarke Computersteuerung programmierbare Geschwindigkeiten und Werkzeugänderungen, wodurch Benutzer die Leistung der Maschine an ihre genauen Anforderungen anpassen können. 20B-5L ist ideal für hochpräzise Waferschleifen, Läppen und Polieren. Die fortschrittliche Technologie und robuste Konstruktion des Modells ermöglicht eine Vielzahl von Schleif- und Polieroperationen mit engen Toleranzen und ausgezeichneter Oberflächengüte. Die fortschrittliche Vision-Ausrüstung und Touchscreen-Schnittstelle machen es auch einfach, das System zu konfigurieren, zu bedienen und zu überwachen, wodurch der Prozess zuverlässiger und effizienter wird.
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