Gebraucht SPEEDFAM 20B #9294601 zu verkaufen

SPEEDFAM 20B
ID: 9294601
Weinlese: 2011
Systems 2011 vintage.
SPEEDFAM 20B ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung. Dieses System wurde entwickelt, um die Genauigkeit und Effizienz beim Schleifen, Läppen und Polieren mehrerer Wafer gleichzeitig zu erhöhen. Das Gerät ist in der Lage, bis zu 20 Wafer gleichzeitig mit einem Durchsatz von bis zu 5.000 Wafern pro Stunde zu verarbeiten. SPEEDFAM 20 B besteht aus zwei Hauptteilen, der Schleifeinheit und der Läpp-/Poliereinheit. Die Schleifeinheit besteht aus drei Stationen; die Torstation, die Grobschleifstation und die Feinschleifstation. Die Torstation dient zum Öffnen der Scheiben für den Schleifvorgang. Nach dem ersten Öffnen der Wafer bewegen sie sich zu den beiden aufeinanderfolgenden Schleifstationen. Grobschleifen erfolgt mit einem großen Schleifstein, während Feinschleifen mit einem feineren Schleifstein erfolgt. Beim Gitter werden die Wafer für gleichbleibende Qualitätsergebnisse durch eine Luftfilmkammer geführt. Die Läpp-/Poliereinheit besteht aus fünf Stufen; Vorbereitung, vorpolieren, polieren, nachpolieren und Inspektion. Die Aufbereitungsstation dient zum Abspülen von Montageslurry der Waferoberflächen vor dem Läppen/Polieren. Danach wird eine Vorpolierstufe verwendet, um die Oberflächenrauhigkeit des Wafers zu verringern und dem gewünschten Finish näher zu bringen. Danach folgt die Polier- und Nachpolierstufe, wo weitere Oberflächenglättungen durchgeführt werden und die Oberflächengüte auf das gewünschte Niveau gebracht wird. Schließlich werden die Wafer überprüft, um sicherzustellen, dass sie den geforderten Spezifikationen entsprechen. 20B ist in der Lage, extrem hohe Oberflächengüte, Schäden und Ebenheit zu erreichen, die alle die höchsten Industriestandards übertreffen. Darüber hinaus ermöglicht es sein einzigartiges Design, verschiedene Wafergrößen von 75 Nanometern bis 500 Nanometern zu verarbeiten. Dies macht es zu einer idealen Wahl für viele Halbleiterherstellungsanwendungen. Darüber hinaus ist 20 B eine vollautomatische Maschine mit integrierter SPS-Steuerung, mit der Anwender ihre eigenen Verarbeitungsparameter einstellen und die Schleif-, Läpp- und Polierprozesse in Echtzeit überwachen können. Kurz gesagt, SPEEDFAM 20B ist ein hocheffektives Scheibenschleif-, Läpp- und Polierwerkzeug, das hochgenaue Oberflächenveredelungen, Ebenheit und Spanschäden erzielen kann. Darüber hinaus ist es aufgrund seiner automatisierten Art und der Fähigkeit, mehrere Wafer gleichzeitig zu bearbeiten, eine gute Wahl für die Verarbeitung von Wafern mit hohem Volumen.
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