Gebraucht SPEEDFAM 20B #9363838 zu verkaufen
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SPEEDFAM 20B ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polieranlage, die für maximale Leistung und effiziente Waferproduktion für die Verarbeitung von Substraten entwickelt wurde. SPEEDFAM 20 B verfügt über eine 15 in. Platte für Präzisionsschleifen, eine 9 in. Trägertisch zum Läppen und 5 in. Trägertisch zum Polieren. Die Maschine ist auch mit einem MicroPass-Polierkopf mit variabler Geschwindigkeit ausgestattet, der eine maximale Materialabtragsrate von bis zu 10 μ m bieten kann. Für die Prozesssteuerung verfügt 20B System auch über eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche, um das Polier-, Läpp- und Schleifprogramm zu verwalten. Der Polierbereich von 20 B Einheit weist einen Druckkrümmer auf der Vorderseite des Tisches auf, mit dem der Druck für den Polierprozess variiert werden kann. Die Polierplatte hat auch zwei unabhängige Polierköpfe, die Motoren mit variabler Drehzahl verwenden und die Feinabstimmung der Polierrate ermöglichen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine externe Vorrichtungsmaschine, die zur einfachen Einstellung des Spaltes zwischen Substrat und Platte dient. SPEEDFAM 20B bietet auch ein automatisiertes Kommoderwerkzeug für die Schleif- und Läppaktivitäten. Dies ermöglicht es dem Benutzer, die Schleif- und Läppwerkzeuge automatisch und mit minimalem Benutzereingriff anzuziehen. Die Kommode verfügt über einen Controller, der die Abrichtparameter einstellen und die Abrichtaktivitäten überwachen kann. Der Schleifbereich von SPEEDFAM 20 B asset nutzt einen Rotationsmotor für hochpräzises Schleifen. Der Motor hat einen variablen Drehzahlbereich von bis zu 15.000 U/min bei hervorragender Wiederholbarkeit. Die Maschine ist auch mit einem programmierbaren Kopf für die 3-achsige (X, Y, Z) Koordination der Schleifbewegung ausgestattet. Die Platte hat auch Vakuumabschaltungen, um maximale Substrathaftung während des Schleifprozesses zu gewährleisten. Die Läppfläche 20B Modells ist mit einem zweistufigen Läppverfahren ausgestattet. Dies ermöglicht den Abschluss eines Pre-Lapping-Prozesses und eines präzisen Lapping-Prozesses. Der Läppvorgang nutzt auch eine einstellbare Vorrichtung, um wiederholbare Läppparameter zu ermöglichen. Das Läppen hat auch einen Motor mit variabler Drehzahl, um eine optimale Materialabtragsrate und ein eingebautes Sicherheitssystem zu ermöglichen, das Verletzungen des Bedieners verhindert. Zur Sicherheit verwendet 20 B auch einen Lichtvorhang, der als Sicherheitsschranke zwischen dem Bediener und dem Schleif- und Polierbereich der Maschine wirkt. Der Lichtvorhang löst sich jederzeit, wenn ein Bediener den Bereich betritt, und wird wieder aktiviert, wenn der Bediener den Bereich verlässt. SPEEDFAM 20B verfügt auch über eine eingebaute Sauberkeitseinheit, um sicherzustellen, dass alle Bereiche der Maschine frei von Verschmutzung gehalten werden. Diese Maschine umfasst automatische Medienbefüllung/-spülung, Luftfiltration und ein statisches Eliminationswerkzeug. Insgesamt ist SPEEDFAM 20 B ein ausgezeichnetes Gerät zum Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern, das eine optimale Leistung und effiziente Waferproduktion bietet. Mit seinem automatisierten Kommoden-Modell, Motoren mit variabler Drehzahl, eingebauten Sicherheitssystemen und Sauberkeitssystemen bietet 20B eine umfassende Lösung zum Präzisionsschleifen und Polieren von Substraten.
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