Gebraucht SPEEDFAM 22B-5L #9276642 zu verkaufen
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ID: 9276642
Double sided lapping system
(3) Motor
Touch panel
Auto thickness control.
SPEEDFAM 22B-5L ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung zum präzisen Polieren sowie Konditionieren und Umformen einer Vielzahl von Wafersubstraten. Es ist ein vielseitiges System, das komplexe Prozesse vom Fertigschleifen, Läppen und Polieren einer breiten Palette von Materialien, Formen, Größen und Dicken bewältigen kann. 22B-5L besteht aus einer Reihe von Hauptelementen: einer Spindelbaugruppe, einer Schleifscheibe, Läppplatten, Polierkissen und Probenhaltern. Das Hauptbauteil von SPEEDFAM 22B-5L ist die Spindelbaugruppe, die einen bürstenlosen Wechselstrommotor enthält, der in einem Stahlrahmen montiert ist, der sich mit einstellbaren Drehzahlen zwischen 250 und 10000 U/min dreht. Der Motor ist mit der Schleifscheibe verbunden, die von einem Schutzschild umschlossen ist und sich in der Nähe der Probenscheibe oder des Halters befindet. Die Schleifscheibenauswahl umfasst Schleifharzräder und Diamanträder. Die Läppplatten sind oberhalb der Schleifscheibe gelagert und bestehen aus einem feinkörnigen Medium, das mit variabler Geschwindigkeit an die zu polierende Oberfläche abgetragen wird. Die Polierkissen sind am Ende der Läppplatte angebracht und dienen zur weiteren Veredelung und Verfeinerung der Oberfläche. Die Probenhalter umfassen pneumatische und manuelle Probenklemmen, einstellbare Befestigungsstifte und eine Musterverlängerungsschiene, die eine genaue und wiederholbare Positionierung eines Wafers entlang der Arbeitsfläche ermöglicht. 22B-5L ist für erhöhte Sicherheit ausgelegt, mit Anti-Vibrationstischen für Schleifscheibe und Probenhalter, automatischen Abschaltungen bei Überspannung des Geräts und einer fortschrittlichen Steuerungsmaschine für präzise stufenlose Geschwindigkeitsregelung und automatische Kompensation von Laständerungen. SPEEDFAM 22B-5L bietet eine vereinfachte Bedienung des Bedienfelds und eine leistungsstarke PC-Software, die eine verbesserte Prozessüberwachung und Programmierbarkeit ermöglicht. Der modulare Aufbau ermöglicht auch eine Aufrüstung oder Hinzufügung mehrerer Optionen, wie z.B. eines Achsenkippwerkzeugs, einer Waferdrehfähigkeit und eines dreiachsigen Laserinterferometers für Asset-Messungen. 22B-5L ist ein ideales Modell für die robuste und präzise Herstellung verschiedener hochpräziser Komponenten und Wafer, das sauberere, dichtere Oberflächenbearbeitungen, schnellere Verarbeitungsraten und eine verbesserte Prozessdefinition ermöglicht. Diese Ausrüstung ist einfach zu warten und zu warten und liefert konsistente Ergebnisse, so dass sie sowohl für Klein- als auch für Großserien geeignet ist.
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