Gebraucht SPEEDFAM 24BTAW #9366022 zu verkaufen
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ID: 9366022
Lapping machine, 24"
Solid plate with polishing pad
(4) Retaining rings, 9”
Conditioning ring inside diameter: 11 7/8"
(4) Pneumatic pressure plate
Dispensing system
Electrical component
Cylinders
Control valve
Power supply: 220 VAC, 3 Phase.
SPEEDFAM 24BTAW ist eine hochmoderne Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung für die Halbleiterindustrie. Das System wurde entwickelt, um mit seinen robusten und präzisen Automatisierungen ein überlegenes Schleifen, Läppen und Polieren über herkömmliche Scheibenschleifer zu ermöglichen. SPEEDFAM 24 BTAW bietet überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit beim Schleifen, Läppen oder Polieren von Wafern. Es ist in der Lage, die Wiederholbarkeit innerhalb weniger Nanometer zu verarbeiten. Dadurch wird sichergestellt, dass einheitliche Ergebnisse erzielt werden, was wiederum die Prozesszeit verkürzt und die Produktivität erhöht. Diese hochentwickelte Einheit umfasst eine Vielzahl von Komponenten. Die Haupteinheit von 24BTAW besteht aus einer schweren Ambossplatte, einer präzise geschliffenen Spindel, einem X/Y-Mikron-Tisch und einem Hochleistungs-Z-Achsen-Servomotor. Der X/Y-Tisch besteht aus dynamisch ausgewogenen, luftführenden linearen Bewegungsstufen und Präzisionsmotorhalterungen, die eine präzise Bewegungssteuerung bieten. Der Z-Achsen-Servomotor verfügt über eine inkrementelle Codierung, mit der der Benutzer die Höhe des Wafers steuern kann. Neben der Haupteinheit umfasst 24 BTAW auch eine Diamantschleifscheibe, eine Diamantschleifscheibe und eine Polierscheibe. Diese Tools können auf verschiedene Weise konfiguriert werden, um den Anforderungen bestimmter Anwendungen gerecht zu werden. Beispielsweise kann die Topfscheibe zum Grobschleifen, die Läppscheibe zum Feinschleifen und die Polierscheibe zum Schlichten verwendet werden. Die Maschine verfügt auch über eine Polierkammer, die es dem Benutzer ermöglicht, den Polierprozess vollständig zu automatisieren. SPEEDFAM 24BTAW kann auch an die Bedürfnisse spezifischer Anwendungen angepasst werden. Es verfügt über integrierte Sicherheits- und Steuerungssysteme, mit denen der Benutzer die Werkzeugeinstellungen an seine Bedürfnisse anpassen kann. Das Asset kann auch für den manuellen oder Remote-Betrieb eingerichtet werden. SPEEDFAM 24 BTAW ist ein umfassendes Modell zum Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern, das Präzision und Wiederholbarkeit für die Halbleiterindustrie bietet. Seine vielseitigen Komponenten ermöglichen eine individuelle Anpassung an die Anforderungen jeder Anwendung und die präzise, automatisierte Steuerung sorgt für gleichbleibende Qualität und reduzierte Prozesszeit.
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