Gebraucht SPEEDFAM 28B-5L2M #9225432 zu verkaufen

SPEEDFAM 28B-5L2M ist ein hochmodernes, hochpräzises Wafer-Schleif-, Läpp- und Poliersystem für die Feinbearbeitung von Silizium-Wafern und Flachsubstraten. Diese modernste Ausrüstung nutzt fortschrittliche MEMS-Prozesse und liefert die höchsten Erträge und konsistente Ergebnisse mit den niedrigsten Defekten. Das System verfügt über viele beeindruckende Fähigkeiten, angefangen bei der Prozesssteuerung der eingehenden Wafer-Eigenschaften. Eine Echtzeit-Wafer-Überwachungseinheit sorgt dafür, dass jeder Wafer vor und während jeder Phase des Prozesses richtig ausgewertet wird. Eine Roboter-Wafer-Handhabungsmaschine garantiert auch eine exakte Ausrichtung der Wafer, um ungleichmäßiges Schleifen, Läppen und Polieren zu verhindern. Ein einziges integriertes CNC-Tool verwaltet alle Prozessfunktionen und bietet Flexibilität und Wiederholbarkeit. Das Asset kann sowohl die serielle als auch die parallele Verarbeitung übernehmen, so dass eine höhere Anzahl von Produkten gleichzeitig abgeschlossen werden kann. Der Schleifabschnitt weist eine Spindel mit sieben beweglichen Achsen auf, die eine hohe Übersichtlichkeit der Waferkanten ermöglicht. Das eingebaute Luftvakuum hilft, die Prozesszeit zu reduzieren, indem verbrauchte Schleifpartikel von der Oberfläche entfernt werden. Der Läppabschnitt ist hocheffizient, mit einer Drehzahlregelung, die Drehzahlen bis zu 450rpm ermöglicht. Der leistungsstarke Motor wird von einem Frequenzumrichter angetrieben und liefert wiederholbare, präzise Ergebnisse. Der Polierabschnitt ist vollautomatisch und ermöglicht sowohl Form- als auch Polierprozesse. Die beiden Polierplatten können unabhängig voneinander laufen, so dass alle Bereiche des Wafers gleichmäßig poliert sind. Das Modell hat auch den zusätzlichen Vorteil einer Nachpolier-Qualitätsprüfung. Insgesamt ist 28B-5L2M eine zuverlässige, präzise Lösung für Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierprozesse. Seine robuste Konstruktion und fortschrittliche Technologie machen es zu einer idealen Wahl für die Herstellung von Hochleistungs-Silizium-Wafern.