Gebraucht SPEEDFAM 30B-5P-2M-N #9410061 zu verkaufen

SPEEDFAM 30B-5P-2M-N ist eine hochgenaue und zuverlässige schlüsselfertige Schleif-, Läpp- und Polieranlage für die Herstellung von ebenen und parallelen Oberflächen auf einer Vielzahl von Halbleitermaterialien. Das System verfügt über eine 5-Achsen-Wegkonfiguration mit integriertem PoliPol-Extraktor und integrierter Schrubb-/Auswertestation. Die Einheit umfasst einen Drehtisch mit einem einzigen 180-Grad-Indexieranschlag, der eine Positionsstabilität bietet und dem Bediener einen schnellen Werkzeugwechsel ermöglicht. Die drei Prozesskammern - zwei Schleif- und ein Polieren - sind mit zwei Lastschlössern mit jedem Lastschloss mit 150 kg Fassungsvermögen und einer einzigartigen Größenauswertestation ausgestattet. Die Mahlkammer besteht aus zwei 75-in. 3-Kiefer-Spannfutter und zwei 3 I.D. Schleifspindeln, die unidirektionale Stromgeschwindigkeiten bis 8500 U/min ermöglichen. Die Spindeln sind auf einem freitragenden motorisierten Endeffektor montiert, der sich während des gesamten Schleifprozesses über die Oberseite des Wafers bewegt. Die Spindeln weisen jeweils einen bürstenlosen Motor für einen schwingungsmindernden Mechanismus sowie eine stufenlose Drehzahlregelung für variable Spindeldrehzahlen auf. Die Polierkammer enthält ein Vakuumfutter zum Polieren von Teilen der Waferrückseite. Die Spindel ist ein bürstenloser Drehmomentmotor mit einem Revolver gegossen, um die Wärmeübertragung von Probe zu Motor zu reduzieren. Der Revolver ist von unten verstellbar, so dass der Bediener die Geschwindigkeit fein anpassen kann. 30B-5P-2M-N ist eine fortschrittliche Schleif- und Poliermaschine, die benutzerfreundlich ist, mit einem farbigen Touchscreen, der eine grafische Einrichtung, Anzeige und Datenanalyse des Schleif- und Polierprozesses bietet. Dieses Tool enthält auch eine Parameterinformationsspeicher-/-abruffunktion sowie eine automatische Start-/Auto-Stopp-Operation. Mit seinen verschiedenen Geschwindigkeiten, Größen und Konfigurationen ist SPEEDFAM 30B-5P-2M-N die perfekte Bereicherung für eine Vielzahl von Industrie- und Forschungszwecken.