Gebraucht SPEEDFAM 32 DPAW-11-T0221 #9303720 zu verkaufen

SPEEDFAM 32 DPAW-11-T0221 ist eine Mehrzweckmaschine, die zum gleichzeitigen Schleifen, Läppen und Polieren (DLP) von Halbleiterscheiben verwendet werden kann. Dieses Gerät bietet einen modularen Aufbau für maximale Vielseitigkeit, sodass Anwender das Gerät schnell für eine Vielzahl von prozessspezifischen DLP-Prozessen neu konfigurieren können. Die Maschine verfügt über ein 32-positioniertes LoadPortTM-System mit einer „Plug & Play“ -Funktion, die manuelle Waferübertragung und Aktivierung während der Mehrfachbearbeitung eliminiert. Der LoadPort gibt automatisch verarbeiteten Wafer ohne manuellen Eingriff aus und ruft ihn ab. 32 DPAW-11-T0221 ist mit einer breiten Palette von Prozesswerkzeugen ausgestattet, die speziell für eine kontrollierte Umgebung innerhalb der Bearbeitungskammer ausgelegt sind. Integrierte Abrieb- und Polierwerkzeuge, einschließlich einer Diamant-Abrichtscheibe, wurden entwickelt, um die spezifischen Herausforderungen des Waferschleifens, Läppens und Polierens anzugehen. Das Gerät ist auch in der Lage, Temperatur und Druck für eine optimale Waferbearbeitung zu steuern. Ein integriertes Deckel- und Glockenglas-Design nutzt eine inerte Atmosphäre sowie Luftfiltration, um die Kammer sauber zu halten und Partikelverunreinigungen zu reduzieren. Eine expandierbare Wasserrückführungsmaschine ist auch enthalten, um die verarbeiteten Wafer zu kühlen und die Prozessstabilität zu erhalten. SPEEDFAM 32 DPAW-11-T0221 verwendet ein Multi-Achsen-Bewegungssteuerungswerkzeug, um exakt getaktete und geregelte Bewegungen für eine effiziente Waferbearbeitung zu liefern. Die Anlage ist auch mit automatisierten Lastschlössern ausgestattet, um ein schnelleres und effizienteres Be- und Entladen der Wafer zu ermöglichen. Hochauflösende optische Sensoren liefern Rückkopplungs- und Steuerungsdaten zum mehrachsigen Bewegungsmodell, die genaue, wiederholbare Prozesse ermöglichen. Das Gerät ist mit einem großen 12-Zoll-Farbgrafik-Display ausgestattet, mit dem der Benutzer den Waferprozess in Echtzeit überwachen und steuern kann. Eine verfügbare Wafer-Mapping-Funktion bietet Benutzern eine grafische Darstellung der Oberflächenqualität des Wafers, so dass sie die Prozessparameter anpassen können, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Das System bietet auch Echtzeit-Datenprotokollierung und -überwachung mit Alarmbedingungen, um den Benutzer auf unerwartete Bedingungen oder Probleme während des Prozesses aufmerksam zu machen. 32 DPAW-11-T0221 ist eine ideale Lösung für enge Toleranz und hohe DLP-Anforderungen und wird durch die bewährte Zuverlässigkeit und Leistung der Marke SPEEDFAM unterstützt.