Gebraucht SPEEDFAM 36 DPAW #9287360 zu verkaufen
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SPEEDFAM 36 DPAW ist eine vollautomatische Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die von SPEEDFAM entworfen und von SPEEDFAM Precision Technologies hergestellt wurde. Es ist in der Lage, Ultra-Finish-Flachen und Winkel auf dielektrischen, magnetischen, spröden und keramischen Materialien zu produzieren. 36 DPAW ist ein oszillierendes Tischsystem zur Bearbeitung von scheibengroßen Stücken. Das Gerät verwendet hubbasierte Technologie, die eine hohe Prozessgenauigkeit und Endqualität ermöglicht. Der Schwingtisch arbeitet auf einem patentierten „Z-Duty“ -Zyklus durch zwei Stufen des Schneidens und einen Polierschritt. Es bietet stabile Prozessbedingungen während des gesamten Polierprozesses und gewährleistet einheitliche Prozessergebnisse. Das Design von SPEEDFAM 36 DPAW besteht aus einem indizierten Haltefutter zur präzisen Positionierung des Werkstücktisches und drei separaten Arbeitsstationen zum Schleifen, Läppen und Polieren. Das Haltefutter ist zur Aufnahme von wafergroßen Substratstücken sowohl in der flachen als auch in der abgewinkelten Form ausgebildet. Die Schleifstation trägt ein Schleifmedium wie Diamant oder Cubic Bornitrid (CBN) auf die Substratoberfläche auf, um Material vom Substrat zu schneiden und zu entfernen. Die Läppstation folgt der Schleifstation und bringt eine Kombination aus Siliziumcarbid (SiC) und Diamantschleifmitteln auf das Substrat auf, um Material vom Substrat weiter zu schneiden und zu entfernen. Schließlich wendet die Polierstation eine Lösung - wie Aluminiumoxid - auf das Substrat an, um es auf seine gewünschte Oberflächengüte zu bringen. 36 DPAW verfügt auch über eine ferngesteuerte, bedienerfreundliche GUI, die dem Bediener eine Betriebsdiagnose und Prozessüberwachung bietet. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine hochgenaue Temperaturregeleinheit, die temperaturstabile Schleif-, Läpp- und Polierprozesse ermöglicht. Die Temperatursteuereinheit ist auch in der Lage, Wafer-Setup und Prozess Fasen Bedingungen zu überwachen. Insgesamt ist SPEEDFAM 36 DPAW ein effizientes und präzises Scheibenschleif-, Läpp- und Polierwerkzeug, das für die präzise Bearbeitung und Mikrofertigung von scheibengroßen Stücken entwickelt wurde. Es ist ein hochautomatisiertes Asset mit integrierter Intelligenz für effiziente Prozesszyklen sowie Temperaturkontroll- und Überwachungsfunktionen.
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