Gebraucht SPEEDFAM 36 DPAW #9294574 zu verkaufen

ID: 9294574
Weinlese: 2011
Single side polisher 2011 vintage.
SPEEDFAM 36 DPAW (doppelseitige Planetenschleifscheibe) ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die hochwertige Oberflächenbearbeitungen und Genauigkeit für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen bietet. Dieses System bietet maximalen Durchsatz und minimale Prozesszeit bei minimalem Eingriff des Bedieners. 36 DPAW ist mit einem einzigartigen Planetenschleif-/Läpp- und Polierkopf mit drei unabhängig angetriebenen Radsätzen ausgestattet, die vier verschiedene Polier-/Schleifplatten aufnehmen. Diese Funktion ermöglicht Mehrkoordinaten- und/oder Mehrstufen-Läpp- und Polieroperationen. Die drei unabhängig voneinander verstellbaren Radsätze haben einen Nennarbeitsbereich von +/−25 μ m und werden über eine Servomotoreinheit angetrieben, um eine hohe Wiederholgenauigkeit und Wiederholgenauigkeit zu gewährleisten. Die Maschine ist ferner mit einem hochauflösenden Videowerkzeug ausgestattet, das eine genaue Echtzeit-Betrachtung des Schleif-/Läpp- und Polierprozesses ermöglicht. Dadurch ist es möglich, Prozessparameter zu überprüfen und die Werkstückoberfläche dynamisch auf die genaue Messung und Optimierung von Prozessparametern zu überwachen. Darüber hinaus verfügt diese Anlage über ein hochmodernes CNC-Steuermodell, das für den unbeaufsichtigten Betrieb programmiert ist und somit eine ideale Waferbearbeitungsanlage für Produktionsanwendungen darstellt. SPEEDFAM 36 DPAW wurde entwickelt, um maximalen Durchsatz und minimale Prozesszeit zu bieten. Die programmierbaren Spindeldrehzahlen ermöglichen hochpräzise Schleif-/Läpp- und Polieroperationen auf einer Vielzahl von Materialien. Dieses System ist auch in der Lage, in trockenen und nassen Umgebungen zu laufen, so dass es für eine Vielzahl von Prozessen geeignet ist. Für diejenigen, die eine hohe Prozesswiederholbarkeit und -genauigkeit benötigen, bietet 36 DPAW eine breite Palette von Prozessparametern, die für spezifische Schleif-/Läpp- und Polieroperationen eingestellt werden können. Dieses Gerät eignet sich für Anwendungen, die anspruchsvolle Verfahren wie hochauflösendes optisches Läppen und Polieren sowie hochpräzise Schleifoperationen erfordern. SPEEDFAM 36 DPAW wurde entwickelt, um einen zuverlässigen, wiederholbaren Betrieb zu gewährleisten und ist somit eine ideale Wahl für die Verarbeitung von High-End-Wafern. Seine robuste Konstruktion und überlegene Prozessüberwachungs- und Steuerungssysteme sorgen für hohe Genauigkeit und hochwertige Oberflächenbearbeitungen der fertigen Werkstücke. Darüber hinaus bietet diese Maschine ein optionales Werkzeug zur Steuerung und Überwachung des Schleif-/Läpp- und Polierprozesses für noch mehr Präzision.
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