Gebraucht SPEEDFAM 36 DPAW #9372689 zu verkaufen
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SPEEDFAM 36 DPAW ist ein vollautomatisches Wafer-Schleif-, Läpp- und Poliersystem (DPAW), das speziell für die Herstellung der heutigen ultradünnen Wafer entwickelt wurde. Diese Maschine wird verwendet, um Schleif- und Wafer mit Durchmesser bis zu 12 Zoll (305mm) und Dicke bis zu 10 μ m. Es verfügt über ein achtteiliges Futter, zwei Schleif- und Läppmotoren sowie digitale Schrupp- und Endgeschwindigkeitsregler. 36 DPAW verfügt auch über APC (Active Process Control), Adaptive Lapping und Precision Control System Technologien. All diese Technologien dienen der automatischen Pflege und Optimierung von Prozessparametern sowie der schnellen Reaktion auf Veränderungen der Produkteigenschaften und Prozessbedingungen. Dies sorgt für überlegene Verarbeitungsergebnisse, einheitliche Wafer und einen saubereren Arbeitsplatz. SPEEDFAM 36 DPAW enthält auch eine Probenkammer, die bis zu 30 Proben gleichzeitig verarbeiten kann. Proben werden automatisch der Kammer zugeführt und zum Polieren in die Bearbeitungspositionen gebracht. Diese Maschine verfügt auch über eine programmierbare Logiksteuerung (SPS) für die automatische Prozesssteuerung, eine Vorvakuumkammer zur Gewährleistung der Nichtverschmutzung während der Verarbeitung, einen bordeigenen Flüssigkeitsfilm-Polierer zur Kanteneinstellung und andere Operationen. Die Maschine ist aus Edelstahl gefertigt und kann hohen Belastungen standhalten. Die rotierenden Komponenten sind auf Präzisionskugellagern montiert und alle Motoren sind in motorgekühlten Schränken für maximale Zuverlässigkeit und Geräuschreduzierung untergebracht. Die Maschine ist auch mit einem Touchscreen-Bedienfeld ausgestattet, das eine einfache und schnelle Einstellung der Prozessparameter ermöglicht. 36 DPAW ist eine ultrapräzise Maschine, die außergewöhnliche Waferqualität liefert. Es ist mit fortschrittlichen Prozesstechnologien ausgestattet, die die höchstmögliche Präzision, Wiederholbarkeit und Qualität gewährleisten. Mit ihrem kompakten Formfaktor nimmt die Maschine wenig Platz ein und ist einfach zu installieren und zu warten.
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