Gebraucht SPEEDFAM 36 GPAW #9287337 zu verkaufen

SPEEDFAM 36 GPAW ist ein vollautomatisches, programmierbares Wafer-Schleif-, Läpp- und Poliergerät zum Schleifen, Läppen und Polieren von flachen und abgewinkelten Waferkanten in einem einzigen Clamp-Set-Verfahren. SPEEDFAM 36GPAW ist ein hochmodernes System, das fortschrittliche Robotik, hohe Genauigkeit und überlegene Prozesskontrolle kombiniert, um Waferkantenschleifen, Läppen und Polieren von unvergleichlicher Zuverlässigkeit und Qualität zu ermöglichen. 36 GPAW-Einheit besteht aus mehreren Modulen. Das roboterbelastete Klemmensatzmodul besteht aus einer automatisierten Roboterarm- und Klemmmaschine, die eine schnelle und präzise Waferbelastung der Schleifscheibe gewährleistet. Das Rückenschleifmodul umfasst ein Präzisionsspannwerkzeug und eine Schleifscheibe, um die Waferrückseite zuverlässig zu schleifen. Das Kantenschleifmodul umfasst automatische Positionierer, um den Wafer zum Schleifen genau zu positionieren und sicherzustellen, dass alle Kanten präzise geschliffen, geläppt und poliert werden. Das Läpp-/Poliermodul nutzt einen hochpräzisen, elektronisch gesteuerten Drehtisch und eine einstellbare Geschwindigkeitsschiene, um Wafer präzise auf der Läpp-/Polierplatte zu positionieren. Das Rückenschleif- und Läpp-/Poliermodul verfügt über eine integrierte Konturabbildung, die eine bestmögliche Kantenprofilqualität gewährleistet. 36GPAW enthält auch ein automatisiertes QC-Inspektionsmodell, um die Qualität des fertigen Produkts zu überprüfen. SPEEDFAM 36 GPAW bietet eine Reihe zusätzlicher Funktionen wie Prozessrückverfolgbarkeit, Funktionen zur statistischen Prozesssteuerung (SPC), programmierbare Arbeitszentren und eine intuitive Touchscreen-Steueroberfläche. Es eignet sich für alle Halbleiterverarbeitungsanwendungen, einschließlich Halbleiterbauelementherstellung, MEMS/MOEMs, fortschrittliche Waferherstellung und Dünnschichttechnologie. Das Gerät wurde entwickelt, um eine hervorragende Leistung mit einer beeindruckenden Kombination aus Genauigkeit, Wiederholbarkeit und maximalem Durchsatz zu bieten. Die fortschrittliche Automatisierung von SPEEDFAM 36GPAW gewährleistet reproduzierbare Ergebnisse auf höchstem Qualitätsniveau, während die fortschrittlichen Prozesskontrollen Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit für die Serienfertigung und anspruchsvolle Produktionsanforderungen garantieren.