Gebraucht SPEEDFAM 36B #9217163 zu verkaufen
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SPEEDFAM 36B ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polieranlage für die einseitige oder doppelseitige Verarbeitung von Halbleitermaterialien. Das Gerät hat die Fähigkeit, perfekt runde Substrate von einer Vielzahl von Rauhigkeiten bis in den Nanometerbereich zu schleifen, zu schlagen und zu polieren. Dieses System kann zum mechanischen Polieren von Substraten, wie mikroelektronischen und optoelektronischen Bauteilen, zur Ausbeute und Produktivitätsverbesserung eingesetzt werden. Die Einheit besteht aus zwei Hauptkomponenten: 36B Werkzeughalter und dem Poliertisch. Der Werkzeughalter hält die Schleifscheibe, Läppplatte und Polierkissen; seine Konstruktion stellt sicher, dass die verschiedenen Materialien während des Schleif-, Läpp- und Polierprozesses aufgrund ihrer stabilen Struktur nicht beschädigt werden. Der mehrachsige Poliertisch ermöglicht Präzisionsbewegungen in jedem Verfahrensschritt, was Wiederholbarkeit und Durchsatzgenauigkeit bietet. Der Tisch verfügt zudem über eine geschlossene Präzisionsantriebseinheit, die eine präzise Geschwindigkeits- und Rückkopplungsüberwachung während des Betriebs ermöglicht. Die Maschine verfügt über eine breite Palette von Schleifmöglichkeiten mit einer Vielzahl von Radoptionen. Die serienmäßigen Schleifscheibengeschwindigkeiten reichen von 800 bis 8000 U/min. Darüber hinaus verfügt das Tool über SPEEDFAM CW-5A Polierköpfe, die eine konsistente Geschwindigkeitsregelung für eine Vielzahl von Läpp- und Polieranwendungen bieten. Die Läppplatte kann auch für Schleif- und Läppvorgänge von 0 bis 80 mm Durchmesser verstellt werden. Das Polierkissen bietet eine maximale Drehzahl von 6.000 U/min und hat einen 6-Zoll-Durchmesser, der mit allen Polierköpfen kompatibel ist. SPEEDFAM 36B ist ein vielseitiges und zuverlässiges Schleif-, Läpp- und Polierelement für hochpräzise Anwendungen. Es hat die Fähigkeit, zu fast perfekten Oberflächen zu schleifen, zu schlagen und zu polieren, was erhöhte Erträge und engere Toleranzen ermöglicht. Zu den Merkmalen gehören eine Rückkopplungsschleife zur Präzisionsgeschwindigkeitsregelung und einstellbare Raddrehzahlen. Das wartungsfreie Design des Geräts erfordert einen minimalen Eingriff des Bedieners und ist somit eine gute Wahl für prozessabhängige und biologisch sensible Operationen.
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