Gebraucht SPEEDFAM 48 BAW #9250728 zu verkaufen
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ID: 9250728
Lapping system
48" Segmented lap plate diameter
Segment thickness: 1-1/2"
Inside diameter of 4 conditioning rings: 18"
Ring area: 1018 Sq inches
Plate speed: 63 RPM
Down pressure per head: 1260 Lbs
(4) Cylinders: 5" Diameter
Equipped with:
48" Diameter segmented lapping plate
(4) Air pressure hold downs with pressure plates
(4) Geared conditioning rings
10-Hp Main drive motor and controls
Water cooled table system
Pump and tank unit
Automatic cycle timer control
Push button control station.
SPEEDFAM 48 BAW ist eine multifunktionale Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die entwickelt wurde, um hochwertige Wafer mit maximalem Durchsatz zu produzieren. Das System verwendet einen Zweikopf-Schleifer-Lapper-Polierer-Setup, um eine komplette Lösung für die Erzielung von hochpräzisen Wafern zu bieten. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafergrößen von 125 μ m bis 500 mm schnell zu verarbeiten. 48 BAW ist eine flexible, einfach zu bedienende Einheit, die eine Vielzahl von Prozesseinstellungen ermöglicht. Das Schleifer-Lapper-Polier-Setup bietet eine umfassende Palette von Schleif- und Polierschritten sowie eine Vielzahl von Schleifgrößen, die eine Vielzahl von Oberflächenveredelungen ermöglichen. Die Maschine bietet auch eine Vielzahl von Optionen für den Strombedarf, so dass Flexibilität in der Produktionsplanung. SPEEDFAM 48 BAW ist mit Präzision und Genauigkeit im Auge gebaut. Sein automatisiertes Werkzeug verfügt über einen modularen Aufbau, der eine einfache Einrichtung und Wartung ermöglicht. Es nutzt die Präzisionslinienabtastoptik, um die Flachheit des Wafers und die Gradienten der z-Achsen zu messen, was eine hochpräzise Messung und Steuerung des Schleifprozesses ermöglicht. Das Asset verfügt auch über eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, einschließlich der automatischen Abschaltung, wenn festgestellt wird, dass der Low-Tuck-Zustand überschritten wurde. 48 BAWs automatisiertes Modell wird gebaut, um alle Anforderungen an Partikelgröße und Oberflächengüte zu erfüllen. Darüber hinaus verfügt die Anlage über ein umfassendes Prozessüberwachungssystem, das die Prozessparameter in Echtzeit verfolgt und eine vollständige Rückverfolgbarkeit des Prozesses ermöglicht. Insgesamt ist SPEEDFAM 48 BAW eine hochmoderne Einheit, die für hochpräzises Waferschleifen, Läppen und Polieren entwickelt wurde. Der einfach zu bedienende, modulare Aufbau bietet eine Reihe einstellbarer Einstellungen für Prozesssteuerung, Leistungsanforderungen und Sicherheitsfunktionen. Seine automatisierte Maschine gewährleistet eine strikte Einhaltung der Qualitätskontrolle und Rückverfolgbarkeit des Waferproduktionsprozesses.
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