Gebraucht SPEEDFAM 48 BTSW #293725337 zu verkaufen
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ID: 293725337
Weinlese: 2005
Lapping machine, 48"
Standard thickness: 1½"
Ring, 18"
Plate speed: 63 RPM
(4) Cylinders, 5"
Equipped with:
Spiral grooved diamond polishing plate, 48"
(4) Air cylinders with spiral grooved pressure plates
(4) Conditioning rings
Drive motor and controller: 7½ HP
Table with airlift adjustment
Water cooling lapping plate system
Air pressure system with gauge and control
Automatic cycle timer control
Slurry pump
Centre reversing mechanism
Welded frame
Roller bearing guide
Control station
Operator
Manual
Power supply: 460 V, 3 Phase, 60 Cycle
2005 vintage.
SPEEDFAM 48 BTSW ist eine fortschrittliche Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung für die Präzisionsbearbeitung von Halbleiterwafern und anderen Substraten, die in der Mikroelektronikindustrie verwendet werden. Dieses System kombiniert branchenführende Technologien und innovative Funktionen, um hohe Genauigkeit, Konsistenz und Produktivität in Waferbearbeitungsanwendungen zu erreichen. Die Kernfunktionalität von 48 BTSW-Einheiten dreht sich um das Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern, um spezifische Anforderungen an Dicke, Ebenheit und Oberflächengüte zu erfüllen. Diese Verfahren sind entscheidend für die Herstellung von Halbleiterbauelementen, da sie dazu beitragen, die notwendigen glatten und gleichmäßigen Oberflächen für die Abscheidung von dünnen Schichten, das Ätzen von Mustern und andere kritische Fertigungsschritte zu schaffen. Eines der Hauptmerkmale der SPEEDFAM 48 BTSW Maschine ist seine hochpräzise Schleiffähigkeit, die das Entfernen von Material von der Waferoberfläche mit außergewöhnlicher Genauigkeit und Kontrolle ermöglicht. Dies wird durch den Einsatz fortgeschrittener Schleifscheiben und Spindelbaugruppen erreicht, die unter Einhaltung enger Toleranzen mit hohen Geschwindigkeiten arbeiten können. Das Tool ist mit einer ausgeklügelten Feedback-Steuerung ausgestattet, die kontinuierlich wichtige Prozessparameter wie Spindeldrehzahl, Druck und Materialabtragsrate überwacht, um eine optimale Schleifleistung zu gewährleisten. Neben dem Schleifen umfasst das 48-BTSW-Modell Läpp- und Polierverfahren zur weiteren Verfeinerung der Waferoberflächen, um die gewünschte Planheit und Glätte zu erreichen. Das Läppen umfasst die Verwendung von Schleifschlämmen und einer rotierenden Platte, um Material zu entfernen und die Ebenheit der Oberfläche zu verbessern, während das Polieren eine Reihe von feinen Schleifkissen und chemischen Lösungen verwendet, um eine hochwertige spiegelartige Oberfläche zu erreichen. Diese Verfahren sind wesentlich, um die elektrischen und optischen Eigenschaften der Waferoberflächen zu verbessern und das einwandfreie Funktionieren von Halbleiterbauelementen zu gewährleisten. SPEEDFAM 48 BTSW ist für hohen Durchsatz und Effizienz ausgelegt, wodurch Halbleiterhersteller eine große Anzahl von Wafern in relativ kurzer Zeit bearbeiten können. Das System verfügt über mehrere Waferträger und automatisierte Handlingsysteme, die Wafer verschiedener Größen und Dicken aufnehmen können und eine nahtlose Integration in Produktionslinien und Reinraumumgebungen ermöglichen. Das Gerät umfasst auch fortschrittliche Software-Steuerungssysteme, die eine einfache Programmierung von Prozessparametern und eine Echtzeit-Überwachung der Prozessleistung ermöglichen. Darüber hinaus ist 48 BTSW-Maschine mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um den Schutz von Bedienern und Ausrüstung während der Waferbearbeitung zu gewährleisten. Dazu gehören Interlocks, Not-Aus-Tasten und automatische Abschaltmechanismen, die Unfälle verhindern und Ausfallzeiten minimieren. Das Werkzeug enthält auch robuste Umweltkontrollen, um eine saubere und kontrollierte Bearbeitungsumgebung zu erhalten, die für die Erzielung konsistenter und zuverlässiger Ergebnisse in der Halbleiterherstellung unerlässlich ist. Insgesamt stellt SPEEDFAM 48 BTSW eine hochmoderne Lösung für Waferschleif-, Läpp- und Polieranwendungen in der Halbleiterindustrie dar. Mit seinen fortschrittlichen Technologien, der hohen Präzision und dem effizienten Betrieb ermöglicht dieses Modell Halbleiterherstellern eine überlegene Waferqualität, Prozesskontrolle und Produktivität in ihren Fertigungsprozessen.
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