Gebraucht SPEEDFAM 48 BTSW #293727679 zu verkaufen

ID: 293727679
Weinlese: 2008
Lapping machine, 48" Standard thickness: 1½" Ring, 18" Plate speed: 63 RPM (4) Cylinders, 5" Equipped with: Spiral grooved diamond polishing plate, 48" (4) Air cylinders with spiral grooved pressure plates (4) Conditioning rings Drive motor and controller: 7½ HP Table with airlift adjustment Water cooling lapping plate system Air pressure system with gauge and control Automatic cycle timer control Slurry pump Centre reversing mechanism Welded frame Roller bearing guide Control station Operator Manual Power supply: 460 V, 3 Phase, 60 Cycle 2008 vintage.
SPEEDFAM 48 BTSW ist eine hochmoderne Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für Halbleiterherstellungsprozesse entwickelt wurde, die eine hohe Präzision und Qualität der Oberflächenbearbeitungen erfordern. Mit seiner fortschrittlichen Technologie und innovativen Funktionen ist 48 BTSW an der Spitze der Wafer-Verarbeitungsanlagen und bietet außergewöhnliche Leistung und Effizienz. Eines der Hauptmerkmale von SPEEDFAM 48 BTSW ist seine Vielseitigkeit bei der Verarbeitung verschiedener Materialien, darunter Silizium, Galliumarsenid, Siliziumcarbid, Saphir und andere Halbleitersubstrate. Diese Flexibilität ermöglicht es Halbleiterherstellern, die Anforderungen einer Vielzahl von Anwendungen zu erfüllen und gleichzeitig konsistente Ergebnisse und Qualitätsstandards zu erhalten. Das System beinhaltet ein mehrstufiges Verfahren zur Waferbearbeitung, beginnend beim Schleifen, um die gewünschte Dicke und Ebenheit zu erreichen. Die Schleifstufe verwendet Präzisionsschleifscheiben, die überschüssiges Material von der Waferoberfläche entfernen und dabei enge Toleranzen für die Gleichmäßigkeit der Dicke beibehalten. Dadurch wird sichergestellt, dass die Wafer die erforderlichen Vorgaben für nachfolgende Bearbeitungsschritte erfüllen. Nach der Schleifstufe verwendet 48 BTSW ein Läppverfahren, um die Oberflächengüte des Wafers weiter zu verfeinern und die Gesamtebenheit zu verbessern. Die Läppstufe beinhaltet die Verwendung von Schleifschlämmen und Präzisionslappplatten, um Oberflächenfehlstellen zu entfernen und eine glatte, spiegelartige Oberfläche auf der Waferoberfläche zu erreichen. Dieser Schritt ist entscheidend für die Verbesserung der optischen und elektrischen Eigenschaften des Wafers und eignet sich daher für Hochleistungs-Halbleiterbauelemente. Nach Abschluss des Läppvorgangs durchläuft der Wafer eine Polierstufe, um eine endgültige Oberflächengüte zu erzielen und eventuell verbleibende Oberflächenfehler zu beseitigen. Der Polierprozess verwendet Präzisions-Polierkissen und chemisch-mechanische Poliertechniken (CMP), um die Waferoberfläche zu glätten und ihre optische Qualität zu verbessern. Dieser Schritt ist wesentlich für die Herstellung von Wafern mit außergewöhnlicher Oberflächenglätte und Ebenheit, Minimierung der Oberflächenrauhigkeit und Defekte, die die Leistung von Halbleiterbauelementen beeinflussen könnten. SPEEDFAM 48 BTSW ist mit fortschrittlichen Steuerungssystemen und Automatisierungsfunktionen ausgestattet, um eine präzise Prozesssteuerung und Reproduzierbarkeit zu gewährleisten. Das Gerät integriert fortschrittliche Sensoren, Aktuatoren und Überwachungsgeräte, um Prozessparameter kontinuierlich in Echtzeit zu überwachen und anzupassen und die Waferbearbeitungsschritte für konsistente Ergebnisse zu optimieren. Darüber hinaus ermöglichen die benutzerfreundliche Oberfläche und die intuitive Software der Maschine dem Bediener, Verarbeitungsrezepte für verschiedene Materialien und Anwendungen einfach zu programmieren und anzupassen. Abschließend ist 48 BTSW ein hochmodernes Schleif-, Läpp- und Polierwerkzeug, das eine beispiellose Präzision, Qualität und Zuverlässigkeit für die Halbleiterherstellung bietet. Mit fortschrittlicher Technologie, vielseitigen Fähigkeiten und automatisierten Funktionen ist das Asset ideal geeignet, um die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen und eine hochwertige Waferproduktion für eine Vielzahl von Anwendungen zu gewährleisten.
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