Gebraucht SPEEDFAM 50 GPAW #9294584 zu verkaufen

ID: 9294584
Weinlese: 2014
Single side polisher 2014 vintage.
SPEEDFAM 50 GPAW ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung für die Herstellung von dünnen, hochpräzisen Wafern. Das System verfügt über ein integriertes Arbeitsfeld, das bis zu fünfzig 6-Zoll-Wafer pro Charge enthält, um eine effiziente Serienfertigung zu ermöglichen. Die Einheit umfasst auch eine Luftlagerlinearspindel, die eine hohe Steifigkeit und höchste Genauigkeit erzielen kann. Die Spindel verfügt über eine patentierte „Justierbare Automatisierung und Steuerung“ Maschine, die automatische, präzise Kontrolle über Faktoren wie Vorschub, Radposition, Anzahl der Durchgänge und Polierzeit für jeden Wafer bietet. Das Schleifen erfolgt auf einer gusseisernen Halterung mit CBN oder Diamantschleifscheiben zusammen mit einer speziellen Paste. Die Schleifscheiben haben einen verstellbaren radialen Auslauf zur präzisen Steuerung der Waferdicke und Ebenheit. Der Läppvorgang folgt dem Schleifen und wird mit verschiedenen Arten von Poliertüchern und Schleifschlämmen durchgeführt. Bei dem Läppverfahren handelt es sich um eine rotierende Scheibe, die ebenfalls wendbar ist, um die Gleichmäßigkeit der Waferdicke zu erreichen. Das Polierverfahren wird verwendet, um Ultraglätte zu erzielen, und verwendet ein patentiertes SLG (SigmaLink Grind) -Verfahren, das hervorragende Oberflächenveredelungsqualität bietet. 50 GPAW verwendet auch ein automatisiertes Wafer-Handhabungswerkzeug, das die Wafer und Schmierstoffe von der Schleif- und Polierstufe in die Nachbearbeitungsstufe überführt. Die Anlage ist in der Lage, eine breite Palette von Wafergrößen bis zu 6-Zoll-Durchmesser mit verschiedenen Dicken zu handhaben. Das Modell ist sicher und benutzerfreundlich und bietet High-End-Oberflächen mit minimalem manuellen Eingriff. SPEEDFAM 50 GPAW bietet die perfekte Lösung zum Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern. Seine High-End-Technologie liefert innerhalb eines kurzen Produktionszyklus hervorragende Ergebnisse und stellt sicher, dass mit dieser Maschine hergestellte Wafer hochpräzise und von höchster Qualität sind.
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