Gebraucht SPEEDFAM 59 SPAW #9073254 zu verkaufen
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SPEEDFAM 59 SPAW ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Es ist ein mehrachsiges System, das bis zu 11 Wafer gleichzeitig verarbeiten kann. Mit seinem hochpräzisen vibrationsarmen Betrieb kann es Läppen, Polieren und Ebenheit in einem einzigen Arbeitsgang messen. 59 SPAW ist mit fünf Servoachsen ausgestattet. Die X, Y, Z-Achsen ermöglichen eine dreidimensionale Bewegung und Drehung des Schleif-/Polierkopfes; zusätzlich ermöglichen eine B- und eine A-Achse eine vierdimensionale Markierung bzw. eine 45-Grad-Positionierung in X- bzw. Y-Richtung. Die beiden zusätzlichen A-B-Achsen ermöglichen die Bearbeitung von vollflächigem Schleifen oder Polieren. SPEEDFAM 59 SPAW bietet eine staubfreie Umgebung mit einer vollständig geschlossenen Kammer. Es ist mit Luftdruck und Luftbefeuchtern ausgestattet und eignet sich daher zum Schleifen und Polieren bei niedrigen Temperaturen und hoher Luftfeuchtigkeit. Die integrierte Absaug- und Rezirkulationseinheit sorgt für eine allgemeine Sauberkeits- und Luftqualitätskontrolle. Das Gerät eignet sich zum Schleifen und Polieren von ein- und mehrkristallinen Wafern. Es beherbergt acht Arten von Schleifscheiben, Harz-Bindung Diamantscheiben, Schleifmahlecken und Ultraschall-Schneidscheiben, so dass es für verschiedene spezifische Anwendungen geeignet. Zusätzlich verwendet es einen Tintenstrahlspender zum präzisen Auftragen von Schleif-/Poliermassen auf das Werkstück. 59 SPAW bietet eine einfache Integration in bestehende Linien. Es ist sehr programmierbar, so dass Benutzer Rezepte und Setup-Parameter gemäß ihren Anforderungen speichern können. Eine optionale Maschine zum automatischen Laden/Entladen hilft bei der Stapelverarbeitung und Routineaufgaben. Es verfügt auch über einen externen Diagnoseanschluss für einfache Fernwartung. Abschließend ist SPEEDFAM 59 SPAW ein effizientes und zuverlässiges Schleif-, Läpp- und Polierwerkzeug für die Halbleiterindustrie. Es bietet ausgezeichnete Präzision, einfache Bedienung und eine vollständig geschlossene Kammer für staubfreien Betrieb. Die zusätzlichen Funktionen wie das Auto Load/Unload Asset, der Tintenstrahlspender, die optionalen A-B-Achsen und der externe Diagnoseanschluss machen 59 SPAW zu einer großen Wahl für anspruchsvolle Wafer-Verarbeitungsanwendungen.
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