Gebraucht SPEEDFAM 5B-7L #9276666 zu verkaufen

SPEEDFAM 5B-7L ist ein Wafer Schleif-, Läpp- und Poliergerät, das entwickelt wurde, um hochpräzise Verarbeitungslösungen für Anwendungen wie Photonik, MEMS, Medizinprodukte und andere Produkte im Mikromaßstab zu liefern. Das System bietet einen effizienten Weg zu finishCMP und halbleitenden Substraten. Es besteht aus 4 Hauptkomponenten: Schleifeinheit, Läppeinheit, Poliereinheit und Vakuum- und Duscheinheit. Die Schleifeinheit ist eine fortschrittliche 5-Achse mit hohen Genauigkeitsbewegungen, so dass sie Submikron-Präzision für Waferoberflächen erreichen kann. Es kann mit zwei Arten von Schleifscheiben verwendet werden - Diamant und CBN - und verwendet bis zu zwei unabhängige Motoren, um eine glatte und konsistente Struktur der Waferoberfläche zu gewährleisten. Die Einheit ist außerdem mit einer verstellbaren automatischen Leistungsregelung ausgestattet, die die unebene Bewegung der Schleifachse durch Radunausgleich aufhebt. Die Läppeinheit ist für das Läppen von zylindrischen und ebenen Flächen ausgelegt. Während Schleifsteine zur Steuerung des Läppprozesses verwendet werden, steht eine breite Palette von Schleifschlämmen zur Verfügung, um Läppprozessanforderungen für eine Vielzahl von Substraten zu erfüllen. Die Läppeinheit verfügt auch über eine automatische Einstellung der Schleifscheibengeschwindigkeit, bietet eine präzise Kontrolle über Läppparameter und bietet die höchstmögliche Genauigkeit und Oberflächengüte. Der Hauptzweck der Poliereinheit ist es, eine glänzende, hochwertige Oberfläche auf der Waferoberfläche mit einer Vielzahl von Poliermaterialien und -techniken zu erreichen. Zur Erzielung der gewünschten Ergebnisse können verschiedene Polierverfahren kombiniert werden, wie z.B. Gülledispersion, Pufferung und Polsterkonditionierung. Schließlich ist die Vakuum- und Duschmaschine für die Reinigung des gesamten Wafers während der Verarbeitung verantwortlich, indem die bei allen Schleif-, Läpp- und Polierprozessen anfallenden Schutt entfernt werden. Eine einzige Staubsammelquelle wird verwendet, wodurch der Wartungsbedarf erheblich reduziert wird. Das Tool profitiert von effizienten Absaugmöglichkeiten und entfernt schnell die Staubpartikel, ohne die Leistung des gesamten Assets zu beeinträchtigen. 5B-7L ist eine ausgezeichnete Wahl für alle, die nach einer Lösung für ihre Anforderungen an das Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern suchen und unübertroffene Präzision und höchste Produktionsraten bieten. Durch die Verwendung all dieser verschiedenen Merkmale und Komponenten ist das Modell in der Lage, ausgezeichnete Qualitätsprodukte zu liefern.