Gebraucht SPEEDFAM 64 BSW #293606142 zu verkaufen
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ID: 293606142
Weinlese: 1999
Lapping machine
P/N: 64BSW466801-2412
Plate diameter, 60"
Inside ring diameter, 22"
Total ring area: 1810"²
Plate speed: 45 RPM
Cylinders diameter, 6"
Down pressure per head: 1900 lbs
Main drive motor, 15 HP
Diameter segmented lapping plate, 64"
(4) Geared conditioning rings
(4) Air pressure hold downs with plates
Push button control station
Manuals included
1999 vintage.
SPEEDFAM 64 BSW Wafer Schleifen, Läppen und Polieren Ausrüstung ist eine hochpräzise, automatisierte, geschlossene Schleife Maschine für niedrige durchschnittliche Rauheit und Oberflächenglätte auf großen Halbleiterscheiben und flachen Oberflächen zu erreichen. Es ist ideal für sehr glatte, niedrige Kratzflächen auf großen Bauteilen (bis zu 300mm Durchmesser), die High-End-Oberflächenoberflächen erfordern. 64 BSW verfügt über eine innovative Designplattform, die eine hocheffiziente Verarbeitung ermöglicht und sehr zuverlässig ist. Sein fortschrittliches Bewegungssteuerungssystem ermöglicht eine präzise Programmierung und wiederholbare Ergebnisse, während die High-End-Luftlagerspindel einen vibrationsfreien Betrieb für maximale Effizienz und Konsistenz erzeugt. Die prozessgesteuerte Steuereinheit ermöglicht eine einfache Bedienoberfläche und Bedienung, komplett mit automatischer Selbstdiagnose und Analyse, um maximale Leistung zu gewährleisten. Die Steuermaschine ermöglicht Flexibilität in Arbeitsprozessen. Eingebautes Elektroüberwachungswerkzeug erhöht die Zuverlässigkeit weiter. Für eine höhere Prozessgenauigkeit beinhaltet SPEEDFAM 64 BSW ein Vakuumfutter zur verbesserten Werkstückaufnahme sowie eine integrierte Kühlung zur lokalen und globalen Temperaturregelung des Wafers. Der Regelkreis ist über lange Zeiträume genau und bietet eine monotone Wiederholbarkeit. Darüber hinaus nutzt 64 BSW eine Auswahl an Schleif-, CMP- und Polierprozesstechnologien, einschließlich Diamant- und Aluminiumoxid-Schleifscheiben, einem natürlichen Schmierstoffmodell und einer Einspülen-Veredelung. Die effektiven und effizienten Materialien befähigen die Geräte mit ausreichender Kraft und sind in der Lage, eine ideale Oberflächengüte zu liefern. SPEEDFAM 64 BSW wurde entwickelt, um mit hoher Qualität und Effizienz zu arbeiten und gleichzeitig die Verfügbarkeit zu niedrigen Betriebskosten zu erhalten. Hochgenau und präzise ist das System in der Lage, hochzuverlässige, wiederholbare und kratzarme Oberflächen auf einem Substrat zu erzeugen. Das Ergebnis ist eine glatte, ebene Oberfläche mit konsistenter und tolerierbarer Größe, Form und Form. Die Maschine bietet kostengünstige Lösungen für die Herstellung hochwertiger, präziser Komponenten für die Medizin-, Automobil- und Unterhaltungselektronikindustrie.
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