Gebraucht SPEEDFAM 84 BAW #9207276 zu verkaufen
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ID: 9207276
Single side lapping machine
Equipped with:
(4) Pneumatic hold down plates
With variable hold down pressure
(4) Retainer rings
Water cooled: 84" Segmented lapping plate
Adjustable inner gear drive
Slurry pump and tank
Specifications:
Plate diameter: 84"
Retaining ring ID: 32-1/2"
Total ring area: 3318 Sq. in
Plate speed variable: 0-36 RPM
Main drive: 25 HP
Cylinder size: 8"
Down pressure (Variable): 0-3400 lbs
1972 vintage.
SPEEDFAM 84 BAW ist eine hochpräzise Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die entwickelt wurde, um mit jeder Anwendung hochwertige Ergebnisse zu erzielen. Die Maschine nutzt eine Kombination aus abrasiven und chemischen Prozessen, um eine glatte, glänzende Oberfläche auf der Waferoberfläche zu erreichen. Das System ist automatisiert; Der Benutzer lädt einfach sein Substrat auf den Schleiftisch des Geräts und legt die gewünschten Parameter fest, und die Maschine kümmert sich um den Rest. Der Bediener kann den Schleifprozess an bestimmte Anforderungen anpassen und Parameter können bei Bedarf in der Mitte des Prozesses geändert werden. 84 BAW verwendet eine Reihe von groben und feinen Diamanträdern, Läpp- und Polierbändern und Schlämmen sowie einen rotierenden mechanischen Polierer, um das gewünschte Ergebnis zu erzielen. Die abrasiven Materialien werden mit unterschiedlichen Belastungen, Schleifgeschwindigkeiten und Zeiteinstellungen aufgetragen, um ein gleichmäßiges Finish während der gesamten Anwendung zu gewährleisten. Die Maschine wurde entwickelt, um eine nicht verzogene Oberfläche mit einer Ebenheit von weniger als 1um und einer verringerten Oberflächenrauhigkeit von ≤ 0.04um zu erzeugen. Die Maschine ist mit einem vollautomatischen Schwingungsmechanismus ausgestattet, der es ermöglicht, mehrere Substrate unterschiedlicher Größe und Dicke gleichzeitig zu schleifen und zu polieren. Es verfügt auch über ein nachbearbeitetes transparentes Klebewerkzeug, mit dem Proben nach der Verarbeitung schnell entfernt werden können. Darüber hinaus ist die Plattform mit einer Vielzahl von Sensoren für Temperatur, Druck und Wasserversorgung ausgestattet, um einen optimalen Betrieb und optimale Ergebnisse zu gewährleisten. SPEEDFAM 84 BAW ist mit einer grafischen Benutzeroberfläche für einfache Überwachung und Steuerung ausgestattet. Das Dashboard ermöglicht die Auswahl von Schleifparametern, die Initiierung von Betriebsabläufen und die Auswertung von Verarbeitungsinformationen. Darüber hinaus integriert die Anlage eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen zum Schutz von Bedienern und Betriebsprozessen bei Hardware- oder Softwarefehlern. Insgesamt 84 BAW ist ein leistungsfähiges Gerät zum Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern für mehrere Anwendungen, was eine höhere Genauigkeit und Wiederholbarkeit ermöglicht. Sein automatisiertes Modell, sein breites Spektrum an Sensoren, einstellbare Parameter und seine intuitive grafische Oberfläche sorgen für Effizienz und Zuverlässigkeit.
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