Gebraucht SPEEDFAM 9B-5 #293798806 zu verkaufen

ID: 293798806
Lapping machine (3) Motor systems Plate type: Stainless steel Plate flatness: Within 5 Microns MITSUBISHI PLC With touch screen Power supply: 380 V, 3 Phase.
SPEEDFAM 9B-5 ist ein Wafer-Schleif-, Läpp- und Poliersystem der SPEEDFAM Corporation. Es wurde entwickelt, um hochpräzises Waferpolieren und Gleichmäßigkeit für automatisierte Halbleiterherstellungsprozesse bereitzustellen. 9B-5 verfügt über sieben Prozessköpfe, darunter Schleif-, Läpp- und Polierköpfe, die sich mit genau geregelten Geschwindigkeiten drehen. Der scheibenförmige Schleifkopf verwendet eine rotierende Diamantschleifscheibe und einen Planetengetriebetreiber, um höhere Schleif-/Poliergeschwindigkeiten und bessere Oberflächengüte zu erzielen. Der Wafer wird zwischen den beiden Köpfen festgehalten, während Schleifscheibe und Planetengetriebe mit einer programmierten Drehzahl rotieren, wodurch der Wafer mit der Schleifscheibe in Kontakt kommt. Der Läppkopf verfügt über ein oszillierendes Rundrad und ein Gegengewichtssystem, um ein effizienteres und präziseres Läppen im Vergleich zu herkömmlichen Drehsystemen zu ermöglichen. Das Läpprad ist sowohl in seiner Geschwindigkeit als auch in seiner Hubgeschwindigkeit einstellbar und ermöglicht eine präzise Kontrolle des Prozesses. Das Läpprad verwendet außerdem ein Diamantschleifmittel, um konsistente Ergebnisse und hohe Präzision zu gewährleisten. Die Polierköpfe sorgen für den letzten Schritt im Prozess und sorgen für höchste Oberflächengüte. SPEEDFAM Polierkopf ist entworfen, um verschiedene Wafergrößen und Dicken aufzunehmen. Der Kopf verwendet ein oszillierendes Polster und ein Planetengetriebe, um höchste Präzision und Genauigkeit zu bieten. Für verbesserte Ergebnisse ist der Kopf so ausgelegt, dass er sich mit genau geregelten Geschwindigkeiten dreht. SPEEDFAM 9B-5 ist für die Herstellung von hochpräzisem Waferschleifen, Läppen und Polieren konzipiert. Es hat einen modularen Aufbau, der es ermöglicht, mehrere Prozessköpfe hinzuzufügen und mehr Flexibilität zu bieten. Das System verwendet auch fortschrittliche digitale Messwerkzeuge und computergesteuerte elektronische/mechanische Systeme, um eine hohe Präzision und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Insgesamt bietet 9B-5 eine optimale Waferbearbeitungsleistung, einschließlich effizientes Schleifen und Läppen, hochpräzises Polieren und gleichmäßige Oberflächenbearbeitungen.
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