Gebraucht SPEEDFAM 9B-5B-IV #9223853 zu verkaufen

SPEEDFAM 9B-5B-IV ist eine fortschrittliche Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung für Präzisionsabrieb, Polieren und Oberflächenmodifizierung von Wafern. Das System verwendet eine Kombination aus drei speziellen Schleifscheiben zur Bearbeitung von Wafern. Alle Räder sind in einer abgedichteten Umgebung befestigt und drehen sich in einer vertikalen Ebene zum präzisen Schleifen und Polieren. Die Schleif- und Läppscheiben bestehen entweder aus feinen oder groben Aluminiumoxidkörnern, die an einer Verbundspindel befestigt sind. Diese Spindel dreht sich mit einer präzisen Geschwindigkeit, so dass der Schleif- und Läppvorgang ohne Beschädigung der Wafer erfolgen kann. Der Schleifvorgang erzeugt eine ebene Oberfläche auf dem Wafer, während der Läppvorgang die Oberflächengüte verbessert. Das Endrad der Einheit ist ein polykristallines Diamant (PCD) Rad. PCD ist deutlich abrasiver als Aluminiumoxid und wird zur Erhöhung der Oberflächenrauhigkeit des Wafers verwendet. Dies wird durch eine präzise oszillierende Bewegung in Verbindung mit einer allmählichen Erhöhung der Drehzahl des Rades erreicht. Bei diesem Verfahren werden kleinere Partikel entfernt, was eine höhere Präzision ermöglicht. 9B-5B-IV Maschine ist modular aufgebaut und ermöglicht eine einfache Wartung und Reparatur. Es beinhaltet einen eingebauten Schutzschrank, der Bediener vor potenziellen Gefahren im Zusammenhang mit dem Schleifprozess abschirmt. Das gesamte Werkzeug wird über SPS und PC überwacht und gesteuert und so konfiguriert, dass der Bediener den richtigen Schleifvorgang auswählt. Datenprotokollierung und -berichterstattung stehen zur Verfolgung von Prozess und Teilehistorie zur Verfügung. Dieses Asset wurde unter Berücksichtigung der Automatisierung entwickelt. Es ist in der Lage, bis zu 50 Wafer pro Stunde bei minimaler Rüstzeit und relativ geringem Platzbedarf zu verarbeiten. Das Modell kann an die spezifischen Anforderungen des Kunden angepasst werden, einschließlich der Möglichkeit, mehrere Tools und Module hinzuzufügen. Insgesamt ist SPEEDFAM 9B-5B-IV ein leistungsstarkes Werkzeug zum Präzisionsscheibenschleifen, Läppen und Polieren. Es ist in der Lage, präzise flache und glatte Oberflächen zu produzieren, während auch hervorragende Oberflächengüte. Die Automatisierungsfunktionen des Geräts ermöglichen die Konfiguration, um spezifischen Produktionsanforderungen gerecht zu werden.