Gebraucht SPEEDFAM 9B-5L-IV #9181275 zu verkaufen

SPEEDFAM 9B-5L-IV
ID: 9181275
Weinlese: 1991
Double sided lapping machine 1991 vintage.
SPEEDFAM 9B-5L-IV ist ein automatisiertes Gerät zum Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern. Es ist ein Fünf-Achsen-System, das höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit für die anspruchsvollsten Anwendungen bietet. Es bietet drei Stufen des Schleifens, Läppens und Polierens für Silizium und andere empfindliche Stoffe, einschließlich Diamant und SiC. 9B-5L-IV Einheit ist so konzipiert, dass sie mit Halbleiterwafern arbeitet und anspruchsvolle Schleif- und Poliervorgänge an ihnen ausführt. Diese Maschine verwendet ein fortgeschrittenes kinematisches logarithmisches Positionierwerkzeug (KLPS). Es verwendet drei Achsen, um den Werkzeugkopf und zwei zusätzliche Achsen zu bewegen, um das Werkstück zu positionieren, unter Beibehaltung einer genauen Steuerung. Dies ermöglicht die gewünschte Geometrie und präzise Fertigstellung des Wafers. Das KLPS-Steuerelement verwendet auch 3D-Interpolationsfunktionen, mit denen die Maschine unregelmäßig geformte Wafer verfolgen kann. SPEEDFAM 9B-5L-IV verfügt über eine robuste motorisierte Spindel, ideal für hochpräzise Schleif-, Läpp- und Polieranwendungen. Es ist mit einer Wägezelle zur Überwachung der Klemmkraft ausgestattet. Dadurch wird sichergestellt, dass die Materialien durch Überklemmen nicht beschädigt werden. Die Ölkühlung der Spindel sorgt dafür, dass das Aggregat während des Betriebs nicht überhitzt. Die Auswahl der Schleif-/Polierscheiben reicht von 50um - 0.2 μ m (Superfinition) für Feinkörner und von 25 - 250 μ m für Grobbestände. Es unterstützt direkt diamantbeschichtete Läppplatten, die einen effizienten Schleifprozess ermöglichen. 9B-5L-IV unterstützt auch computernumerische Steuerung (CNC), die automatische Schleif-, Läpp- und Polierprozesse ermöglicht. Die eingebaute CCD-Fixture-Kamera des Modells kann Bilder des Schleif-/Polierwafers aufnehmen, sodass Benutzer die Qualität der Operation überwachen können. Seine einfach zu bedienende Software bietet Benutzern verschiedene Parameter wie automatische Ausrichtung, Profileinstellung, Kantenerkennung usw., um die Operationen zu erleichtern. Darüber hinaus ist das Gerät mit einem eingebauten Ölnebelreiniger ausgestattet, der kleine Partikel von Mahlgut und Schmutz herausfiltert, die während des Mahlvorgangs am Instrument haften können, um einen sauberen Betrieb zu gewährleisten. All diese Merkmale werden in SPEEDFAM 9B-5L-IV Geräten kombiniert, was es zu einer wettbewerbsfähigen Wahl für hochmoderne Waferschleif-, Läpp- und Polieroperationen macht.
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