Gebraucht SPEEDFAM 9B-5L-IV #9181276 zu verkaufen
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ID: 9181276
Weinlese: 1995
Double sided lapping machine
Auto thickness control system
Direct lead system:
With diamond pellet
Lap platen reserve:
With half groove
Water supply hole: Borrow
DPG Platen
Motor: 2.2 kW
1995 vintage.
Ein SPEEDFAM- 9B-5L-IV ist ein ausgeklügeltes Wafer-Schleif-, Läpp- und Poliersystem, das hauptsächlich in Halbleiterherstellungsprozessen eingesetzt wird. Es verfügt über eine vollautomatische Zuverlässigkeit, die in der Lage ist, eine Vielzahl von Materialien und Formen zu behandeln. Dieses System besteht aus mehreren Komponenten, die zusammenarbeiten, um den Wafer effektiv zu schleifen, zu läppen und zu polieren. Dazu gehören ein Roboterarm zur Bewegung der Waferstufe, eine Schleif-, Läpp- und Polierkammer, ein Spinnrad und eine Inline-Wiegebrücke zur Überwachung von Prozessdaten. Der Roboterarm wird verwendet, um die Waferstufe vorsichtig in die Schleif-, Läpp- und Polierkammer zu bewegen. Die Kammer ist temperaturgeregelt, um sicherzustellen, dass die Materialien in ihrem idealen Zustand bleiben, während sie behandelt werden. Im Inneren enthält die Kammer auch ein Spinnrad, das den Wafer unter den Rädern dreht, um ihn zu schleifen und zu polieren. Die Schleif-, Läpp- und Polierkammer hat einstellbare Einstellungen, um die Geschwindigkeit und den Druck auf den Wafer zu steuern. Der auf den Wafer ausgeübte Druck kann so eingestellt werden, dass die richtige Menge bezogen auf das Material des Wafers aufgebracht wird. Dies trägt dazu bei, dass während des Prozesses die bestmöglichen Ergebnisse erzielt werden. Nach Beendigung des Behandlungsvorgangs wird die Waferstufe aus der Kammer herausbewegt und die gesammelten Daten überprüft. Die Inline-Wiegebrücke misst die Materialmenge, die beim Schleifen, Läppen und Polieren aus dem Wafer entfernt wird. Diese Daten werden dann verwendet, um zu überprüfen, ob während des Behandlungsprozesses der richtige Druck ausgeübt wurde. Durch den Einsatz von 9B-5L-IV können die Hersteller sicher sein, dass ihre Prozesse effizient und zuverlässig sind. Die Fähigkeit, den während des Prozesses verwendeten Druck und die Geschwindigkeit zu kontrollieren, sowie die Fähigkeit, die Menge des aus dem Wafer entfernten Materials zu messen, ermöglicht konsistente Ergebnisse über alle hergestellten Produkte hinweg. Damit ist SPEEDFAM 9B-5L-IV ein unschätzbares Werkzeug in der modernen Halbleiterindustrie.
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